《说文解字》称“城，以盛民也”；“隍，城池也”。城隍一词的古义当为护城之河。因此，班固有文云:“修宫室，浚城隍”。
　　以城隍为神名，文献始见于《北齐书》之《慕容俨传》，传称慕容俨守城，“城中先有神祠一所，俗号城隍神，公私每有祈祷”。隋唐以后，城隍崇拜逐渐流行。明代城隍崇拜达到极盛。