前几天，一位博友打电话咨询能谱仪（EDS）检测轻元素时，分析结果不准的原因，当时也没说清楚，就查询了下资料，写在这里，以供大家参考。

    轻元素通常指原子序数小于钠的那些元素，无论用波谱仪器还是能谱仪进行分析，都面临着相同的问题，影响分析结果的准确性。

    1、轻元素的特征X射线产额低。在采集谱时，计数不足，谱峰较低，谱峰形状不规则。

    2、轻元素的特征X射线能量低。在样品基体内容易被吸收，产生大量的俄歇电子；而从表层出射的X射线在探测器窗口又受到吸收，定量分析要做较大的吸收校正，带来误差。

    3、探测器效率。Si（Li）探测器较宽，接受能量在1.5KeV~15KeV范围的X射线,效率接近100%,然而在小于1.5KeV的低能端探测器效率明显下降,这主要是探测器前面的窗口对低能X射线的严重吸收所致,在大于15KeV的高能端由于高能X射线可能完全穿透硅晶体跑出去,使探测器效率也下降。Be窗口厚度约为8微米,低能X射线如Na仅有60%通过窗口,而氧仅有1%可以通过。为了检测B、C、N、O、F等超轻元素，现在广为使用超薄窗口探测器，利用超薄膜塑料代

一、材料中内应力的分类

  1、引言

    当产生应力的因素不存在时(如外力去除、温度已均匀、相变结束等)，由于材料内部不均匀塑性变形(包括由温度及相变等引起的不均匀体积变化)，致使材料内部依然存在并且自身保持平衡的弹性应力称为残余应力，或内应力。

一方面，残余应力可能对材料疲劳强度及尺寸稳定性等均成不利的影响。

    另一方面，为了改善材料的表层性能(如提高疲劳强度)，有时要在材料表面还要引入压应力(如表面喷丸)。

当多晶材料中存在内应力时，必然还存在内应变与之对应，导致其内部结构(原子间相对位置)发生变化。

    从而在X射线衍射谱线上有所反映，通过分析这些衍射信息，就可以实现内应力的测量。

2、内应力的分类

   材料中内应力可分为三大类。

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能谱仪结构及工作原理
X射线能量色散谱分析方法是电子显微技术最基本和一直使用的，具有成分分析功能的方法，通常称为X射线能谱分析法，简称EDS或EDX方法。它是分析电子显微方法中最基本，最可靠，最重要的分析方法，所以一直被广泛使用。
1。特征X射线的产生
特征X射线的产生是入射电子使内层电子激发而发生的现象。即内壳层电子被轰击后跳到比费米能高的能级上，电子轨道内出现的空位被外壳层轨道的电子填入时，作为多余的能量放出的就是特征X射线。高能级的电子落入空位时，要遵从所谓的选择规则(selectionrule)，只允许满足轨道量子数l的变化 l=±1的特定跃迁。特征X射线具有元素固有的能量，所以，将它们展开成能谱后，根据它的能量值就可以确定元素的种类，而且根据谱的强度分析就可以确定其含量。另外，从空位在内壳层形成的激发状态变到基态的过程中，除产生X射线外，还放出俄歇电子。一般来说，随着原子序数增加，X射线产生的几率(荧光产额)增大，但是，与它相伴的俄歇电子的产生几率却减小。因此，在分析试样中的微量杂质元素时可以说，EDS对重元素的分析

1. 2 原子的激发和电离

不同的原子具有不同的能级，在一般的情况下，原子处于能量最低的状态，即基态，当电子或其他粒子与原子相互碰撞，如果其动能稍大于原子的激发能，就可使该气态原子获得一定的能量，从原子的基态过渡至某一较高能级，这一过程叫做激发。

使原子由基态跃迁到较高能级（即激发态）所需的能量称激发能，以电子伏（ev）表示。从原子能级图可以看出，原子可以被激发到不同的高能级。不同的高能级都有其固定的能量即激发电位。激发能最低的能级（第一激发态）所对应的能量为该原子的第一共振电位，由于其激发能最小，最容易被激发至该能级，因此第一共振线在元素中经常是最强的谱线，常被用作光谱定性分析的灵敏线及低浓度光谱定量分析的分析线。

当电子或其他粒子与原子相互碰撞时，如果其能量大于原子的电离能，则它们相互碰撞时就可能使气态原子电离成气态的一级离子，如果能量更大，还可使离子处于激发态，甚至更进一步变成二级、三级等高级离子。

因此，所谓激发能是指气态原子或离子，由基态最低能级过渡到激发态所需的能量，这种过渡称激发；而电离能是指从气态原子基态最低能级移去电子至电离状态所

1. 原子光谱的理论基础

光谱分析是根据物质的特征光谱来研究物质的化学组成、结构和存在状态的一类分析领域，它可分为原子发射光谱分析、原子吸收光谱分析、分子发射光谱分析、分子吸收光谱分析、X射线荧光光谱分析、原子和分子荧光光谱分析、红外和拉曼光谱分析等