前几天，一位博友打电话咨询能谱仪（EDS）检测轻元素时，分析结果不准的原因，当时也没说清楚，就查询了下资料，写在这里，以供大家参考。

    轻元素通常指原子序数小于钠的那些元素，无论用波谱仪器还是能谱仪进行分析，都面临着相同的问题，影响分析结果的准确性。

    1、轻元素的特征X射线产额低。在采集谱时，计数不足，谱峰较低，谱峰形状不规则。

    2、轻元素的特征X射线能量低。在样品基体内容易被吸收，产生大量的俄歇电子；而从表层出射的X射线在探测器窗口又受到吸收，定量分析要做较大的吸收校正，带来误差。

    3、探测器效率。Si（Li）探测器较宽，接受能量在1.5KeV~15KeV范围的X射线,效率接近100%,然而在小于1.5KeV的低能端探测器效率明显下降,这主要是探测器前面的窗口对低能X射线的严重吸收所致,在大于15KeV的高能端由于高能X射线可能完全穿透硅晶体跑出去,使探测器效率也下降。Be窗口厚度约为8微米,低能X射线如Na仅有60%通过窗口,而氧仅有1%可以通过。为了检测B、C、N、O、F等超轻元素，现在广为使用超薄窗口探测器，利用超薄膜塑料代替Be窗，厚度小于1微米，结构简单，使用方便。