洁净室的升级改造

   由于空气洁净度等级的提升，尤其是由非单向流洁净室升级为单向流洁净室或由ISO6 级/ISO5级洁净室升级改造为ISO5级/ISO4级/ISO3级洁净室时，无论是净化空调系统的循环风量、洁净室的平面和空间布置还是相关的洁净技术措施等都有较大或很大的变化，因此洁净室的升级改造要考虑下述因素。对洁净室的升级改造，首先应该结合具体工程实际情况制定的一个可能实现的改造方案。根据升级改造的目标及相关技术要求和原有建筑的现状等，进行认真、详实的多设计方案的技术经济比较。这里应该特别指出的是此项比较，不仅是改造的可能性和经济性，还应包括升级改造后运行费用的比较，尤其应注意能源消耗费用的比较。       洁净室的升级改造宜优先选用各种隔离技术、微环境技术或局部洁净装置或层流罩等技术手段，对需要高级别空气洁净度等级的生产工序、设备采用微环境装置等技术手段同较低级别空气洁净度等级的洁净室分隔或将整体洁净室提高至可行的空气洁净度等级，而对要求很高级别空气洁净度等级的生产工序、设备采用微环境装置等技术手段。

据相关报道介绍100mm晶圆生产线由ISO5级+ISO6级/ISO7级洁净厂房升级改造为ISO4级和严于ISO4级的洁净室，具体他们在进行了将洁净室全面改造为ISO4级和采用微环境系统设计方案的技术经济比较后，采用了微环境系统的升级改造方案，以最小的升级改造费用达到了所需的空气洁净度等级要求，且能源消耗也较低;运行后经检测每一微环境装置均达到了ISO4级以上的综合性能。据了解，近年来许多超大规模集成电路工厂在进行洁净室升级改造或新建厂房时，都将生产厂房按ISO5级/ISO6级单向流洁净室进行设计建造及按生产线各工序、设备的高级别洁净度要求采用 SMIF微环境系统，达到了产品生产所需的空气洁净度等级，既减少了投资费用、降低了能源消耗，还有利于生产线的改造、扩产要求，具有较好的灵活性。洁净室升级改造时常常要增大净化空调系统的循环风量，即增大洁净室内的换气次数或平均风速，由此必然需要调整或更换净化空调装置、增加高效风口的数量、增大风管尺寸以及增大供冷(热)能力等。在实际工作中，为了降低洁净室升级改造的投资费用，做到调整变动较小，需要充分了解产品生产工艺情况和原有净化空调系统的情况，合理划分净化空调系统，尽可能利用原有系统及其风管，适当增设必要的，改造工作量较少的净化空调系统。中净环球净化可提供洁净室、净化厂房等的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。

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