电子洁净厂房建筑防微振特点结构设计

防微振特点：随着现代科技的高速发展，对材料的纯度、产品的精度及可靠性也提出更高的要求。超微细加工、装配和测试，对诸如空气洁净、防微振、低噪声以及对超纯水、超纯气体等的严格要求，使由此产生的环境控制学得到了迅速发展。控制微振动即防微振，是环境控制的一个重要组成部分。在微电子工业领域，硅片加工中的光刻工序对微振动的控制要求极为严格，其他如精密机械加工、光学器件检测、激光实验、超薄金属轧制等都要对微振动进行控制。在精密设备仪器微振动控制值确定后，电子洁净厂房的防微振控制通常采用以下两种方式:厂区选址在厂址选择或已建工厂内的洁净厂区场地选择的过程中，需要对周围振源的振动影响做出评价，以确定该厂址或场地是否适宜建设。周围振源对有防微振要求的设备、仪器或产品生产过程的振动影响，是若干单个振源振动的叠加结果；这种叠加目前还没有系统的参考数据及实用的计算方法，因此应立足于实测。实测各类振源振动的影响评价是十分重要的，它是拟选择的洁净厂房的厂址或场地是否合适或是否需采取必要的防微振措施以确保将振源的振动影响控制在允许的范围内。一般来说，厂址选择应考虑如下原则:厂区远离铁路、公路干道、码头、机场，并选择环境振动较小的区域。在地质上应避开断层、流砂，选择地质构造稳定、土层密实、地下水位变化较小的地区，合理利用地形、地貌，例如利用河流、地面高差等自然条件，减少环境振动对厂区及洁结净厂房的影响。

防微振结构设计：在获得拟建场地环境振动测试数据，并已确定工程中精密设备的微振动控制值后进行厂目房的总平面规划和防微振设计。电子厂房的防微振首先要了解环境振动的分类及传递途径，环境振动传递的最终接受者是精密设备，其中一类振动是直接作用于精密设备上，另一类振动是通过建筑结构的各种构素件如基础、柱、梁、墙、板等最终传至精密设备底部。而大量的环境振动能量，是通过建筑条结构传递到精密设备底部的，因此建筑结构的防微振设计的要点如下:建筑物基础尽可能置于坚硬土层上，并且基础有足够的刚度；建立独立的建筑结构防微振体系，并与厂房主体结构脱开，减弱主体结构振动的影响。为满足厂房内部空间的应变能力和布置的灵活性，电子洁净厂房建筑结构设计一般摒弃内墙承重体系，多采用大空间、大通间及大跨度柱网框架结构形式，但大跨度结构带来的防微振性能必然有所降低。在结合设备类型和周边场地环境的情况下，减小楼板跨度以提高结构刚度，是结构设计满足精密仪器防微振控制的根本条件。防微振柱通常设置在技术夹层，在不影响洁净生产楼层空间布局的前提下，可以有效减小上部楼层的楼板跨度，达到增加楼板结构刚度、降低微振影响。中净环球净化可提供洁净车间、无尘厂房等的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。

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