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可吸入颗粒物的形成主要有两个人途径：

其一，各种工业过程（燃煤、冶金、化工、内燃机等）直接排放的超细颗粒物；其二，大气中二次形成的超细颗粒物与气溶胶等。

其中，第一种途径是可吸入颗粒物的主要形成源，也是可吸入颗粒物污染控制的重要对象。一种为不同粒径大小的污染物。

   PM2.5：指大气中直径小于或等于2.5微米的颗粒物，也称为可入肺颗粒物。它的直径还不到人的头发丝粗细的1/20，但是它对空气质量和能见度等有重要的影响。与较粗的大气颗粒物相比，PM2.5是一种载体，本身可以带病菌，它被吸入肺泡之后随之进入血液，因此对人体健康和大气环境质量的影响更大。                                      

   尘粒：较粗的颗粒，粒径大于75微米。                              

   亚微粉尘：粒径小于1微米的粉尘。

   粉尘：粒径为1～75微米的颗粒，一般是由工业生产上的破碎和运转作业所产生。

   雾尘：工业生产中的过饱和蒸汽凝结和凝聚、化学反应和液体喷雾所形成的液滴。粒径一般小于10微米。由过饱和蒸汽凝结和凝聚而形成的夜雾也称霾。

   烟：由固体微粒和液滴所组成的非均匀系，包括雾尘和炱，粒径为0.01～1微米。

   化学烟雾：分为硫酸烟雾和光化学烟雾两种。硫酸烟雾是二氧化硫或其他硫化物、未燃烧的煤尘和高浓度的雾尘混合后起化学作用所产生，也称伦敦型烟雾。光化学烟雾是汽车废气中的碳氢化合物和氮氧化物通过光化学反应所形成，光化学烟雾也称洛杉矶型烟雾。

   煤烟：煤不完全燃烧产生的碳粒或燃烧过程中产生的飞灰，粒径为0.01～1微米。

   挥发性有机物：这种化学物包括苯、甲醛和1,3-丁二烯（Butadiene），它们是由汽车燃料不完全燃烧和石油、油及润滑剂蒸发形成。即使浓度很小，也能引发癌症、心血管疾病和肝脏及肾功能障碍。它们可能还会引起先天畸形和不孕不育。挥发性有机物很容易与氧气和其他氧化剂发生化学反应，释放出更加危险的毒素。

   花粉：季节性的花粉污染，主要针对花粉过敏，花粉颗粒粒径大小一般小于1微米。