MLCC的制作(福禄)
(2022-05-03 10:51:01)
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教育 |
美国专利7161795是福禄(Ferro)公司申请的,内容有关MLCC的制作,这里摘译部分内容,有兴趣深入了解的朋友请查阅原文。
例1:
瓷粉原材料用高剪切率分散机进行混合,使用转速大约5000转/分钟,分散液中加入1%的聚合抗沉淀剂,混合完毕的粉末再研磨至D50=0.64微米,粉末焙烧在975C/5小时。
84.8份的上述粉末中添加9.42份的0.3Ca TiO3-0.7Li0.5Sm0.5TiO3,再次高速分散,研磨直至D50=0.64微米,干燥,成为瓷粉。
100克的瓷粉,加入28.8克的有机载体(聚乙烯缩丁醛、甲苯、乙醇),湿法研磨24小时,成为瓷浆,瓷浆流延到涤纶膜上,干燥,形成绿膜,绿膜厚度5-15微米。
内电极浆料,如镍浆,丝网印刷到绿膜上,干燥,10片绿膜叠片,压片用5100Psi(约347大气压),压片温度130华氏度,形成绿芯片,切片,按预定尺寸。
排胶按下表
步骤 |
温度(C) |
时间(min) |
气氛 |
升温 |
325 |
1200 |
大气 |
保温 |
325 |
240 |
大气 |
降温 |
25 |
|
大气 |
烧结按下表
步骤 |
温度(C) |
时间(小时) |
加湿气 |
N2流量 |
气氛 |
升温 |
1000 |
3 |
35C |
40L/min |
变化 |
保温 |
1000 |
2 |
35C |
50 |
10-9氧分压 |
降温 |
25 |
6 |
不加 |
40 |
7ppm氧 |
芯片抛光磨边,将外电极铜浆(福禄TM50-081),以传统方法涂覆到芯片两端,烧结在775C/70min,这样制成的MLCC,介质层厚度约16-18微米,内电极镍层厚度约1.5微米。