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MLCC制作(TDK)

(2022-05-03 09:24:25)
标签:

教育

美国专利6226172是日本TDK公司申请的,内容涉及MLCC的制作,这里摘译部分内容,有兴趣深入了解的朋友请查阅原文。

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瓷粉主成分材料的粒径0.1-1微米,镁和锰的钛酸盐和氧化物可用作主成分,进一步,(Ba0.6Ca0.4)SiO3用作副成分,注:(Ba0.6Ca0.4)SiO3的制备方法是湿法研磨BaCO3CaCO3SiO2,用球磨机研磨16小时,干燥,烧结在1150摄氏度,然后再用球磨机湿法研磨100小时,然后干燥。

100wt的瓷粉,4.8份的亚克力树脂,40份的二氯甲烷,20份的乙酸乙酯,6份的矿油精,4份的丙酮,球磨形成瓷浆。

内电极浆料

100wt的镍粉,粒径0.2-0.8微米,40份的有机载体(8%的乙基纤维素、92%的丁基卡必醇),10份的丁基卡必醇,通过三辊轧机制浆。

内电极浆料

100wt的铜粉,粒径0.5微米,35份的有机载体(8%的乙基纤维素、92%的丁基卡必醇),7份的丁基卡必醇,通过三辊轧机制浆。

制作绿芯片

取上述瓷浆,涂覆到PET膜上,干燥,成为绿膜,取上述内电极浆料,丝网印刷到绿膜之上,干燥,将绿膜从PET带上剥离下来,然后,绿膜与保护绿膜(没有内电极的绿膜)一起叠片、压片、切片,成为绿芯片。

排胶

升温速率:15C/小时

最高温度:280C

保温时间:8小时

气氛:大气

烧结

升温速率:200C/小时

最高温度:1280-1340C

保温时间:2小时

降温速率:300C/小时

烧结气氛:湿氮气加氢气,氧分压10-11次方

退火

保持温度:900C

保持时间:9小时

降温速率:300C/小时

退火气氛:湿氮气,氧分压10-7次方。

注意:烧结和退火气氛中的湿气是35摄氏度的水产生的。

至此,生芯片变成熟芯片。

 

熟芯片经过喷砂,抛光、磨边,涂覆外电极,烧结在800C/10分钟,烧结气氛:湿氮气加氢气。然后就得到MLCC。通常外电极烧成厚度约10微米,内电极烧成厚度约2微米。

 

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