最通用的是内腔式氦氖激光器，放电管与谐振腔固定在一起，全反射镜为反射率100%的凹面镜，输出平面镜反射率为98%。放电毛细管直径1毫米左右，外壳储气部分直径约45毫米。内充以氦氖混合气体，其气压比为5:1到10:1，总压强为1-2毫米汞柱。

         激光工作物质是氖，起受激辐射作用，氦为辅助气体，起传递能量作用。放电管的阳极一般用钨棒制成，阴极为铝或钼圆筒。

         内腔式氦氖激光器使用方便，无需调整谐振腔，反射镜和放电管之间没有窗片相隔，光能损失小。

         氩离子激光器，是目前可见光区域输出功率最高的一种连续工作的激光器。一般输出功率为几瓦或几十瓦。在可见光波段可发设多条振荡谱线。其中以波长514,5纳米（绿光)和488纳米（蓝光)最强。在腔内加声光调制器，可获得脉宽为120皮秒的连续锁模脉冲列。

          氩离子激光器由放电管，磁场和谐振腔组成。其中最关键部位是放电毛细管，由于氩离子激光器的工作电流密度高达每平方厘米为数百安培，因此放电毛细管的管壁温度往往在摄氏1000度以上。因此需要耐高温，导热性能好，气体清除率低的材料制成。如采用石英管，氧化铍陶瓷管，分段石墨管等。高纯致密石墨是目前广泛应用的一种放电毛细管材料。

         氩离子激光谐振腔由两个镀有多层介质膜的反射镜组成，多层介质膜全反射镜的反射率可达99%以上，输出反射镜，对514,5纳米，透过率达12%，对488纳米，透过率达14%。

         为提高氩离子激光器输出功率和寿命，还需加上几百高斯-1千高斯的轴向磁场，通常由套在放电管外边的螺旋管线圈产生。

         氩离子激光器的激发原理是放电管中的快速电子与中性氩原子碰撞时，使氩原子跃迁到激发态后而发光。

        稍后制成氪离子激光器，是一种发绿光的激光器，射程可达136公里，是世界上亮度最大的手持激光器。