蒸发真空镀膜机镀膜原理以及工艺实例_广东汇成真空科技股份有限公司

个人资料

微博

正文字体大小：大中小

蒸发真空镀膜机镀膜原理以及工艺实例

(2022-10-13 10:56:27)

标签：

分类：真空镀膜机

蒸发真空镀膜机镀铝、氟化镁、硫化锌等低熔点的材料，广泛应用于包装、塑料、家具行业等等，成本低，效率高，市场占比率高，下面汇成真空小编为大家详细介绍一下蒸发真空镀膜机的镀膜原理：

(一)真空蒸镀原理

(1) 真空蒸镀是在真空条件下，将镀料加热并蒸发，使大量的原子、分子气化并离开液体镀料或离开固体镀料表面(升华)。

(2)气态的原子、分子在真空中经过很少的碰撞迁移到基体。

(3)镀料原子、分子沉积在基体表面形成薄膜。

(二)蒸发源

将镀料加热到蒸发温度并使之气化，这种加热装置称为蒸发源。最常用的蒸发源是电阻蒸发源和电子束蒸发源，特殊用途的蒸发源有高频感应加热、电弧加热、辐射加热、激光加热蒸发源等。

真空蒸镀工艺实例以塑料金属化为例,真空蒸镀工艺包括：镀前处理、镀膜及后处理。

蒸发真空镀膜机镀膜工艺的基本工艺过程如下：

(三)真空蒸镀工艺实例以塑料金属化为例,真空蒸镀工艺包括：镀前处理、镀膜及后处理。

(1)镀前处理，包括清洗镀件和预处理。具体清洗方法有清洗剂清洗、化学溶剂清洗、超声波清洗和离子轰击清洗等。具体预处理有除静电，涂底漆等。

(2)装炉，包括真空室清理及镀件挂具的清洗，蒸发源安装、调试、镀件褂卡。

(3)抽真空，一般先粗抽至6．6Pa以上，更早打开扩散泵的前级维持真空泵，加热扩散泵，待预热足够后，打开高阀，用扩散泵抽至6×10-3Pa半底真空度。

(4)烘烤，将镀件烘烤加热到所需温度。

(5)离子轰击，真空度一般在10Pa～10-1Pa，离子轰击电压200V～1kV负高压，离击时间为5min～30min,

(6)预熔，调整电流使镀料预熔，调整电流使镀料预熔，除气1min～2min。

(7)蒸发沉积，根据要求调整蒸发电流，直到所需沉积时间结束。

(8)冷却，镀件在真空室内冷却到一定温度。

(9)出炉，．取件后，关闭真空室，抽真空至l × l0-1Pa，扩散泵冷却到允许温度，才可关闭维持泵和冷却水。

(10)后处理，涂面漆。

蒸发真空镀膜机也只能蒸镀低熔点的膜料，高熔点的膜料只能用其它的镀膜技术，比如离子镀膜技术，磁控镀膜技术，电子束镀膜技术等。

阅读┊ 收藏 ┊ 喜欢 ▼ ┊打印┊举报/Report