凯美电子有限公司是一家专业从事半导体制造设备研发、设计和制造的高科技合资企业。产品主要有射频电源、射频自动匹配器、射频功率分配器，PECVD、真空镀镆、刻蚀等真空设备当中。公司于2000年进入半导体领域，已有11年丰富的行业经验。2002年，成为全球最大的半导体设备制造商AMAT（美国应用材料公司APPLIED MATERIALS INC）认证的供应商，并为AMAT大批量制造射频匹配器等产品，每年DMR比率控制在1%之内。
　　格美电子自成立以来，始终以技术创新作为企业发展的源动力，注重研发投入和科技人才的培养。公司拥有一支专业的研发队伍，具有半导体、真空、可再生能源行业丰富的研发经验和领先的自主创新能力。我司已通过ISO9001:2008质量体系认证，并始终以诚信为本，顾客满意为中心，重视技术积淀与创新，不断加强质量控制。部分产品先后通过了半导体行业的ISAT、SSQA、CTPAT、TUV 等多项认证。 相关认证信息请登录http://www.kmmzs.com/
　　我司主要服务于半导体、真空、医疗领域，并提供一流的综合加工和装配服务，专长于多元化、中小批量的精密加工产业。相关产品的OEM也是我们的强项。在加工制造业里，拥有先进的机器设备和丰富的经验。我司一直致力于满足客户需求。

我们的射频产品广泛应用于国内真空设备制作行业，每年销售额节节攀升的背后是我们稳定品质保障和领先于同行业的技术优势。我司生产的射频电源匹配器系列，采用AMAT的生产加工流程。从来料检验到成品出货有一系列的严格检验措施和检验规范标准。相关零件拥有可追溯性。严格的质量把控衍生的是可靠的质量保障。同时我司拥有强大的研发团队，能针对不同客户制作相对应的方案，使我们的电源匹配器与贵公司的设备负载能够匹配的够好够稳定。

我司现有的电源系列有HERO-100，VERG-200，VERG-500，VERG-1000,VERG-2000，VERG-5000以及相对应的射频自动匹配器。手动匹配器。能满足各种射频需求。

一，我们的射频电源应用于PECVD 等离子增强气学气相沉积

http://s14/mw690/002L680sgy6K6i3FVfLdd&690我们的射频匹配器匹配范围宽，且能根据不同负载线圈，改变匹配器内部阻抗。使匹配器与负债达到完全自动匹配。且操作简单，功率稳定，反射功率在1%以内。

二射频应用于等离子刻蚀清洗设备：

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我司在涉足射频电源领域的时候，就开始与等离子刻蚀/清洗的设备厂家合作，通过密切的合作，已经对该系统具备非常丰富的经验。我司电源具备自动匹配，通信接口，客户可以将整个设备集成控制，实现自动化。

http://s12/mw690/002L680sgy6K6kbcM9J6b&690利用反应气体在等离子体中发生分解而在衬底上淀积成薄膜，实际上是在等离子体帮助下进行的化学气相淀积。等离子体是由高频电源在真空系统中产生的。根据在真空室内施加电场的方式，可将辉光放电法分为直流电、高频法、微波法及附加磁场的辉光放电。在辉光放电装置中，非晶硅膜的生长过程就是硅烷在等离子体中分解并在衬底上淀积的过程。
　　我司射频电源凭借稳定的性能，广泛应用于非晶硅镀膜系统，采用自动匹配器，较之手动匹配器更方便员工操作，同时能提高产品品质的稳定性

四 射频应用于等离子表面改性
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等离子体中粒子的能量一般约为几个至几十电子伏特，大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特)，完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键；但远低于高能放射性射线，只涉及材料表面,不影响基体的性能。
    通过等离子体表面处理，材料表面发生多种的物理、化学变化，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，或引入含氧极性基团，使亲水性、粘结性、可染色性、生物相容性及电性能分别得到改善。
    目前我司的射频电源广泛应用于客户的等离子表面改性系统，在实验或生产过程中，我司射频电源工作稳定，能迅速实现自动匹配，得到了客户的好评。

五 射频产品展示

1 VERG系列

http://s8/mw690/002L680sgy6K6iBx7r937&690针对低功率、载行应用，VERG® 系列射频电源小巧、轻便，拥有空冷式设计。高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现最优化，从而使您的投资和制程生产力得到最大化的利用。一个直观、快捷的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上切换，并显示在一个128 x 64像素的液晶显示屏上）带来了无比的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本最小化。拥有多种频率段选择（2M，4M，13.56M，27.12M，40.68MHz）

2VENA系列

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VENA系列自动匹配器用于0-5000W的真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气象沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺；具有自动，快速，可靠，高效，准确，节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等，从而使您能够发现并显著降低制程变化性。

3HERO 系列
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先进和多功能的 HERO® 平台可提供非常稳定的射频功率输送性能，以及一个多样化的模式选择，每种模式都具有一套独特的功能（2M，4M，13.56M，27.12M，40.68MHz；0.1至5 KW），从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件。
　　高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现最优化，从而使您的投资和制程生产力得到最大化的利用。一个直观、快捷的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上切换，并显示在一个128 x 64像素的液晶显示屏上）带来了无比的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本最小化。

4HEMA系列匹配器http://s5/mw690/002L680sgy6K6iC6u9u34&690

多功能HEMA匹配网络的先进技术能在多种负载阻抗下（从30W 至 5kW）进行快速、准确而可靠的匹配。该匹配网络配备了微处理器控制步进马达电路和用户可选数字调谐算法，使它能提供较传统模拟调谐法更高的一致性和精确性。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等。广泛应用于等离子刻蚀、等离子清洗、物理气象沉积、化学气象沉积、磁控溅射、PECVD以及半导体、LED、太阳能制造等设备当中

更多产品信息请电联 13822768980 王先生

最后我们希望与贵公司能成为可信赖的合作伙伴，将国产真空设备做的更好更有竞争力。欢迎来电咨询细节及相关信息，我们将真诚为您服务