光化学法-紫外线臭氧发生器制备臭氧，是利用光波中的紫外光会使氧气分子O₂分解并聚合成臭氧O₃，大气上空的臭氧层即是由此产生的。

波长λ=185nm(10-9m）的紫外光效率最高，此时，光量子被O₂吸收率最大。

其化学反应过程为:

O₂+hr→O+O

O₂+O+M→O₃+M

hr—紫外光量子

M—存在的任何惰性物质，如反应器器壁、氮、二氧化碳气体分子等。

使用185nm紫外光产生的臭氧的光效两位130gO₃/KW.h,是比较高的。但目前低压汞紫外线灯的光-电转换效率很低，只为0.6%~1.5%，则紫外线法产生的臭氧的电耗高达600Kwh/kgO₃,即1.5gO₃/Kw.h，工业应用价值不大。

紫外线法产生臭氧的优点是对湿度、温度不敏感，具有很好的重复性；同时，可以通过汞灯的功率线性控制臭氧浓度、产量，这些特点对于臭氧用于人体治疗及作为仪器的臭氧标准原是非常合适的，缺点是能耗高、产量低，不适合大规模使用。

目前广泛应用于空气、物品的杀菌消毒。