TMS多用于保护羟基和对羰基化合物形成烯醇硅醚。对于TMS来说，方便引入和容易选择性除去，但是TMS对于水汽（moisture）敏感，在酸性和碱性条件下易于水解，而且可以通过溶剂化（主要是甲醇和乙醇）水解。对于TMS 保护的产物大多不适合柱分离，容易分解。

    TMS衍生物水解速率是按照下面顺序：R₂NTMS > RCOOTMS > ROTMS。一般来说，烯醇硅醚相比较于硅醚更容易水解。而硅醚的水解受其烷氧基位阻大小，电子效应影响。位阻越大使得在酸性和碱性条件下水解速度变慢。烷氧基是拉电子基团的话，会使得碱性条件下水解速度变快，酸性条件下水解速度变慢。

 一般常用保护羟基的TMS试剂的反应活性如下：

HMDS < TMCS < TMSDEA and TMSDMA < TMS amides < TMSIM

TMSIM 是活性最强的试剂，可以用语于醇，酚，酸，胺，核酸等保护。

对于酮转变为烯醇硅醚的TMS试剂活性顺序如下：

TMCS < TMS methanesulfonate < TMS benzenesulfonate < BSS < TMBS < TMS triflate < TMIS (在1，2-二氯乙烷作为溶剂，三乙胺作为碱条件下)

不同基团的三甲基硅烷化反应速度不同, 从ROH到RSH反应速度依次递减。ROH > ArOH > RCOOH > RNH₂ > RSH.

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