加载中…EPI wafer
(2014-12-10 21:24:48)
epi纯度高，用CZ法拉出的Wafer纯度不高，参杂也不会非常均匀。一开始使用epi主要是用于提高Bipolar集电极的Breakdown电压。用途1：做Bipolar的burial layer需要Epi，因为离子注入机或用扩散工艺做不了这么深的埋层；2：Epi可以提供不同的物理特性，增加设计的自由度。最主要是它里面不会含有Carbon和Oxyzen。不过Epi很贵，差不多$20-$100 Per Wafer
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