加载中…新华网：我国研制成功300毫米多线切割机 打破全进口现状
(2011-02-03 02:49:55)
标签：
杂谈 |
分类： 晶硅 |
| 45所在国内首次用国产设备切割出12英寸硅片 |
| 发布时间：2011-1-5 |
在2010年最后几个小时，45所用自主研制的300mm多线切割机切割出首批12英寸硅片，这标志着我国首台12英寸多线切割设备诞生，对国家半导体行业、太阳能行业在“十二•五”的发展具有重要的战略意义。45所人以其辛勤努力为2010年画上一个圆满句号，为2011年元旦献上一份厚礼！
300mm多线切割机项目是45所承担的国家02重大科技专项课题之一，45所人在近两年内的时间内，不舍昼夜，自主设计，精心装调，终于用汗水和智慧浇灌、培育出我国第一台具有完全自主知识产权的12英寸线切割机！ 从2009年元月到2010年6月，300mm多线切割机项目组充分调研用户具体需求，并在此基础上进行艰苦的正向设计。主轴系统和主辊冷却系统在引进困难的状况下，自行设计、配套，为课题实质性突破打下了坚实的基础。整个研发阶段，项目组共申请专利9项，其中发明专利7项（包含国际发明专利一项）。在2010年7月的高温酷暑中项目组成员挥汗如雨，一个月的时间内完成了这台重11吨、长宽高达4m×1.86m×3.7 m设备的装配；而后项目组进行了大量的工艺试验，克服了断线、移动臂移动失位、钢丝带不进砂浆等实际问题，完成了比硅片切割更难的石英玻璃的切割试验后，12月31日，用时18个小时一次切割出400多片满足生产线要求的12英寸硅片。 当前，国内生产线上运行的12英寸多线切割机是清一色的进口设备，45所300mm多线切割机的研制成功打破了这一现状，新的机械结构，新的机理，对国家“十二•五”装备制造业和新兴产业的发展具有重要意义。 300mm多线切割机技术也可应用到目前正如火如荼的太阳能电池行业，可一次性切割156mm×156mm的硅片7000—8000片，为相关企业带来可观的利润。目前，我所已与全球最大的太阳能硅片企业××公司签订战略合作协议，进行大线锯的研发，公司也派一线工程师参与到设备的研发中，以提高设备的工艺性、产能和效率，2011年6月前后完成商业机型的生产线工艺验收。 45所已经初步形成了601太阳能多线切割机、300mm多线切割机等系列化的多线切割设备，占据了国内线切割技术的制高点，满足了不同行业、不同规模客户的不同需要。 研发项目化、项目产业化，这是近年来45所自主创新的轨迹，300mm多线切割机的诞生和发展是重要的见证。由平凉半导体专用设备研究所更名为北京半导体专用设备研究所的中国电科45所将立足自主创新，为产业、行业、国家创造更大的经济和社会效益，续写新的辉煌！ |
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