加载中…成都科学城科技创新重点项目数千瓦极紫外自由电子激光光源及光刻验证装置
(2023-02-12 13:38:41)
标签：
科技 |
项目由中国工程物理研究院第十研究所承担，总投资约41亿元，拟通过“数千瓦极紫外自由电子激光光源及光刻验证装置”，：建立大功率极紫外光源；：通过光刻光源预处理系统及光刻验证系统，验证自由电子激光用于光刻的各种关键物理及工程问题，完成10nm节点光刻演示验证，建立首台千瓦极紫外光刻工程测试样机，为我国掌握大规模极紫外光刻（EUV）生产能力、突破芯片制造“卡脖子”问题提供条件。项目拟于2021年启动建设，2026年底完成验收。
喜欢
0
赠金笔