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数千瓦极紫外自由电子激光光源及光刻验证装置

(2023-02-12 13:29:39)
标签:

科技

面向综合性国家科学中心、国家实验室等国家重大战略需求,加快推动创新资源链式聚集,提升资源要素融合浓度。

建设重大平台“承载地”。充分发挥中科系、中核系、中物系等高校院所链接国家部委作用,成功引进柔性基底微纳结构成像系统研究装置、数千瓦极紫外自由电子激光光源及光刻验证装置等重大科技基础设施6个、交叉研究平台5个,其中电磁驱动聚变大科学装置项目(Z箍缩驱动混合能源装置)、跨尺度矢量光场时空调控验证装置项目即将列入国家“十四五”重大科技基础设施建设规划,有望实现天府新区国家重大科技基础设施零突破。

 

:中物院十所持续努力发展自由电子激光事业。在短波长一端,将电子束能量进一步提高,可将输出波长缩短至极紫外波段,利用高平均功率电子枪和连续波超导加速器,可以产生数千瓦至数万瓦的13.5nm波长的极紫外光功率可用于极紫外光刻的规模生产采用单台光源支撑起数十台极紫外光刻机,随着未来极紫外光刻产能要求进一步提高,节点进一步向下,以及光刻胶功率敏感度的进一步降低,这一方案也被ASML公司等单位认为是下一代超大规模集成电路生产的新光源方案这一方案也可能为我国解决光刻卡脖子问题找到一个重要的突破口

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