数千瓦极紫外自由电子激光光源及光刻验证装置
(2023-02-12 13:29:39)
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科技 |
面向综合性国家科学中心、国家实验室等国家重大战略需求,加快推动创新资源链式聚集,提升资源要素融合浓度。
建设重大平台“承载地”。充分发挥中科系、中核系、中物系等高校院所链接国家部委作用,成功引进柔性基底微纳结构成像系统研究装置、数千瓦极紫外自由电子激光光源及光刻验证装置等重大科技基础设施6个、交叉研究平台5个,其中电磁驱动聚变大科学装置项目(Z箍缩驱动混合能源装置)、跨尺度矢量光场时空调控验证装置项目即将列入国家“十四五”重大科技基础设施建设规划,有望实现天府新区国家重大科技基础设施零突破。

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