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济南晶恒电子
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二极管

fab

wafer

【济南晶恒电子为国内首屈一指的二极管生产制造商,拥有自主知识产权的wafer生产线,高品质保障,是您的采购首选!】 

       相对湿度是洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。半导体洁净室中相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区──或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小──而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。 

       因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素,其中包括:

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