加载中…10-27芯海浮沉斯天地
(2025-10-28 08:49:54)
非墨非朱亦非漆，芯海浮沉斯天地
近日，北京大学化学与分子工程学院彭海琳教授团队及合作者通过冷冻电子断层扫描技术，首次在原位状态下解析了光刻胶分子在液相环境中的微观三维结构、界面分布与缠结行为，指导开发出可显著减少光刻缺陷的产业化方案。
光刻胶是高分子聚合物、光敏剂等组成的复杂混合物，如何缠绕、如何相互作用的微观行为直接影响了最终形成的图形是否有缺陷，冷冻电镜断层扫描将样品在毫秒内急速冷冻，将液态原始状态下的样态定格下来，从不同的角度下拍摄其二维图像，从计算机重构其高分辨率原位三维结构。既符合国家战略，驱动基础科学的发展， 为芯片的先进制程提供分子层面理解机制。开创利用冷冻电镜研穷液相材料的新科学范式。为整个光刻胶领域提供了基础数据和理论支撑。
近日，北京大学化学与分子工程学院彭海琳教授团队及合作者通过冷冻电子断层扫描技术，首次在原位状态下解析了光刻胶分子在液相环境中的微观三维结构、界面分布与缠结行为，指导开发出可显著减少光刻缺陷的产业化方案。
光刻胶是高分子聚合物、光敏剂等组成的复杂混合物，如何缠绕、如何相互作用的微观行为直接影响了最终形成的图形是否有缺陷，冷冻电镜断层扫描将样品在毫秒内急速冷冻，将液态原始状态下的样态定格下来，从不同的角度下拍摄其二维图像，从计算机重构其高分辨率原位三维结构。既符合国家战略，驱动基础科学的发展， 为芯片的先进制程提供分子层面理解机制。开创利用冷冻电镜研穷液相材料的新科学范式。为整个光刻胶领域提供了基础数据和理论支撑。
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