9-25十年磨剑试青霜,一朝出鞘动四方
(2025-09-25 08:35:12)
十年磨剑试青霜,一朝出鞘动四方
最近两天密切关注上海工博会“国产自主光刻机”方面技术突破,从展示情况看,技术大大进步了,令人兴奋。
上海微电子首次公开展示EUV光刻机参数图,标志我国国产光刻机向最先进的EUV技术领域迈出了重要第一步。
同时还展出了下一代“fanout”工艺用先进封装光刻机,干法DUV光刻机。
一花独放不是春,百花齐放春满园。国产光刻机的技术路径是多维的,除了成熟的DUV先进制程,也朝国际最先进的EUV技术迈进。同时,电子元器件、核心部件、光刻胶等材料也协同发展了,希望不久将来能够完全实现自主替代,赶超国际先进水平。
最近两天密切关注上海工博会“国产自主光刻机”方面技术突破,从展示情况看,技术大大进步了,令人兴奋。
上海微电子首次公开展示EUV光刻机参数图,标志我国国产光刻机向最先进的EUV技术领域迈出了重要第一步。
同时还展出了下一代“fanout”工艺用先进封装光刻机,干法DUV光刻机。
一花独放不是春,百花齐放春满园。国产光刻机的技术路径是多维的,除了成熟的DUV先进制程,也朝国际最先进的EUV技术迈进。同时,电子元器件、核心部件、光刻胶等材料也协同发展了,希望不久将来能够完全实现自主替代,赶超国际先进水平。