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叉指换能器——声表面波的激励结构

(2015-12-18 16:15:09)
标签:

科普

分类: 声表面波科普
     叉指换能器(IDT)是在压电基片上淀积一层金属薄膜,在用光刻法得到一列交叉的电极制成。当交变的电场加载一列交叉的电极上,通过逆压电效应,在压电基片上产生声表面波。
http://s13/mw690/003HulNogy6XRZwt7GYbc&690
图1 叉指换能器示意图
     IDT有制作简单、声电转换效率高、工作效率高、能消除寄生模式、性能优越等特点。
     IDT的结构参数有:指条对数N、孔径W和周期节长L。均匀的IDT结构如下图2所示:
周期节长为M,指条宽度为M/4,指条间隔也为M/4。
       当换能器两端加上高频电压时,相邻指条间就有电位差,在压电基片的表面和表面附近空间形成高频电场,在指条下面的压电基片内部也形成高频电场。在高频电场的作用下,使基片表面层内产生声表面波。

IDT工作原理举例说明——石英基片上的叉指换能器
       石英基片上作SAW多采用yx切型和ST切型,以yx切型为例说明:
       石英晶体的逆压电效应数学表达式:
http://s5/mw690/003HulNogy6XS0Bp5KAe4&690
       力的作用示意图如下:
由于第三个电场没有实质作用,因此直接设为0. 从上式可以看出,在E1作用下可以产生S1,在E2的作用下可以产生S6。由应变位移关系可知,S1与基片表面层出现的,以u为质点位移、x方向传播的声纵波有关系;S6与基片表面层内出现的,以v为质点位移、x方向传播的声横波有关。如果基片为自由表面,IDT就可以在基片表面层激励出声表面波。

       叉指换能器特性:
       1、叉指换能器的频率特性呈现sinx/x形式
       2、叉指换能器激励声表面波的强度,与周期节点数N的平方成正比
       3、IDT指条间距决定了换能器的工作频率,频率越高,指条间间隔越小,周期节长度M越短
       4、叉指换能器的频率特性与叉指换能器指条的几何结构有密切的关系。




       IDT几何形状与脉冲响应的关系

对于上图中的均匀周期叉指换能器,当一个窄脉冲加载在换能器上时,每一个指条对都同时加上了脉冲信号,激励声表面波。在声同步频率附近,假设每一对指条上激励的声波都是正弦信号,由于相邻指对间的电场是反相的,激励的声波也是反相的。没对指条激励的声波传播到接收点所走的距离,由指条所在的位置决定,第一对指条比第二对指条多走d,第二对比第三对多走d,时间延迟t。每对指条的声孔径W相同,激励的声波信号强度也相等,所以整个叉指换能器所激励的声波信号为一等幅的正弦振荡信号。
        IDT的脉冲响应周期与指条的空间周期是相等的,且一一对应。每个周期所激励的声波强度与对应的孔径成正比,脉冲响应的包络必然与指条重叠规律完全一样。因此,IDT的脉冲响应与其空间几何形状有密切的关系。一次可以得出下图所示的IDT与对应的SAW:











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