由SF6气体的基本物理特性可知，它与空气相比是比较容易液化的气体。SF6的状态决定于其压力和温度参数。

临界温度是表示气体可以被液化的最高温度。临界温度越低，表示该气体越不容易被液化。SF6气体的临界温度为45.6℃，表示温度高于45.6℃后能恒定地保持气态。在该温度以下，只要压力足够高，就可以被液化（如0℃大约在1.2Mpa时开始液化）。但对于氮气，只有在温度低于-147℃时才可能被液化，因此常温下不存在液化问题。

临界压力表示在临界温度下出现液化所需要的压力（SF6临界压力为3.85Mpa，氮气临界压力为3.46Mpa），亦即该温度下的饱和蒸汽压力。

在临界温度下，饱和蒸汽的密度和液态的密度相同，它们之间的界面消失了，气化逆变为零，物理特性方面没有什么差别。