SF6断路器灭弧室从灭弧原理上分可分为自能式和外能式。在具体结构上分为：

（1）双压式灭弧室。最早的SF6断路器采用了双压式灭弧室，类似压缩空气断路器的设计思路，只是以SF6气体取代了压缩空气。现已被淘汰。

（2）压力式灭弧室。压气式灭弧室即单压式，SF6气体只有一种压力，灭弧室需要的压力是在分闸过程中由动触杆带动气缸（又叫压力罩），将气缸内的SF6气体压缩而建立的，当动触杆运动至喷口打开时，气缸内的高压力SF6气体经喷口吹电弧，使之熄灭。吹弧能量来源于操作机构。因此，压气式SF6断路器对所配操作机构的分闸功率要求较大。在合闸操作时，灭弧室内的SF6气体将通过回气单向阀迅速补充到气缸中，为下一次分闸做好准备。

（3）旋转式灭弧室。旋转式灭弧室在静触头附近设置有磁吹线圈。开端电流时，线圈自动地被电弧接进回路，在动触头之间产生横向和纵向磁场，使被开端的电弧沿触头中心旋转，最终熄灭。这种灭弧室结构简单，触头烧损轻微，在中压系统中使用比较普遍。

（4）气自吹式灭弧室。依靠磁场使电弧旋转或利用电弧阻塞原理，由电弧的能力加热SF6气体，使之压力增高形成气吹，从而使电弧熄灭，这种依靠电弧本身能量来熄弧的灭弧室称为气自吹式灭弧室。很显然，这种灭弧室开断电流小，电弧能量小、气吹效果差、因而必须与气压式结构结合起来使用。