假如你即将要涉及化工业，就由湖南顶立科技的专家来为你介绍化学气相沉积炉吧。

　　化学气相沉积炉主要用于大型c/c复合材料制品的气相沉积，采用电阻带并绕制成波纹状分多个区加热，许用温度1060℃，程序升温，采用一拖二或一拖三组合控温系统自动控温，多个热电偶测温，通有氮气、丙烯、天然气等气体，为确保炉子正常安全运行，特作如下规定检查 ：

　　1.各项检查符合要求后，将工艺单上的升温程序输入主控温仪表(FP23)，由另外当班人员校核无误后送电升温。升温顺序为：a.开启变压器冷风机温控电源开关，b.合上系统柜电动空气开关给变压器送电，电压表显示为90v加热电压。C.依次操作各个温控柜投入运行：转动控制电源开关，按空开合闸按钮，合上温控柜内电动空气开关，再操作加热启动开关。(停炉时按相反顺序进行操作)

　　2.主控温度及监控温度达到工艺要求后，按工艺要求开始送气，运行过程中严格执行工艺要求，严格按操作规程安全操作，出现炉压、膛压上升超压或气体流量显示不稳定应及时做相应处理，并做好记录。

　　3.在整个温控过程中，无纸记录仪对炉温、压力、流量进行记录，以备查阅。当炉温、炉压高于报警设定值，水温高于规定值，水压低于规定值、过流、缺相、程序结束时会发出声光报警信号，同时切断脉冲回路，停止向加热器供电，防止或避免“超温”失控现象发生，并按下系统柜仪表板上的警声解除按钮。

　　4.程序运行完毕，仪表复位，关闭各控制柜的空气开关，停

　　止加热电源。关闭氮气，丙烯或天然气阀门，继续抽真空。

　　5.停机械泵，打开氮气阀向炉内充氮气至常压，炉子在缓慢降温过程中应多次向炉内、外室补充氮气至常压，直到炉温冷却到300℃以下。

　　6.快速冷却，当炉温降至300℃以下时，卸下外室冷却管路的挡板，开启风机进行快速降温，直到炉温降至常温。

　　7.当炉温降至常温后，将炉盖吊另处放稳，按顺序将炉膛内的产品吊出，并做好产品编号，检验。

　　注意事项：

　　1.冷态时,抽真空时,发现内外室压差过大,应及时检查内外室连通阀是否开启,如未开,在高温状态时,造成内室挤压变形,严重时开裂,氧化产品.

　　2.内、外室连通的阀门只有在急速冷却时或需要对内、外室分开测压升率时关闭，其余时间必须全部打开。

　　3.在运行中,需要中途停炉检修,对炉内充氮气过程中,操作人员必须守候现场,随时观察炉内压力变化,当压力充至微正压时,停止充气。如果充气压力过高,可能造成严重后果,如将炉盖顶出,氧化产品。如果炉盖螺栓拧紧,也可能造成炉盖爆炸飞出,伤及人身安全。

　　4.在设备整个运行过程中，应经常性检查冷却水管是否畅通，炉子底坑有无积水，如积水超过炉底位置，及时用水泵抽出。

　　5.室温温度较高时，变压器温度控制冷却风机和系统柜冷却风机必须开启。