真空镀膜设备在运行操作时，经常会遇到过断水、断电、漏气等突发情况，大家遇到这种情况，一时不知所措，不知道该如何处理，下面汇成真空小编为大家详细介绍一下真空镀膜设备介绍一下真空镀膜设备运行时如何应急预案:

1、设备工作一段时间需清理打扫

      设备工作一段时间，一般50到70炉次，需清理打扫，把粉尘清出炉外，然后空炉工作一次。工作的方式是先抽空为真空度高于10-2 Pa时加热，加热温度一般高于正常使用温度的20。在最高炉温时保温一个小时以上，然后自然冷却。这样使设备内部空间保持清洁。

2、更换充气气瓶

      设备所用充气气瓶需更换时，拆掉稳压阀，换上一瓶新气，一定要注意安装时不许漏气。在换上新气瓶后，在工件没加热前，应在抽空过程中对炉内充气，以便在换气瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出，使充气管路保持清洁。

3、旋转部件应涂少量润滑油

      应先涂少量真空泵油对旋转部件的润滑表面。请注意清洁，非铁，沙子和灰尘进入真空泵，定位要接触良好。真空泵的安装应转动轻松，无凹凸不平和堵塞现象严重。

5、正常工作时，发现设备突然漏气

      正常工作时，发现设备突然漏气，如马上能找到泄露点，须用真空封泥把泄露点封住，待工作完毕后，再做处理。如不能确定泄露处，则应立即停止工作，然后检修。

6、高温时断水、断电。

      真空设备最怕的就是高温时断水、断电。因此用户最好在设备安装时建有备用水箱或连有自来水管。设备在高温时断水、断电，此时，泵、阀门均应处于关闭状态，操作人员应马上接通备用水或自来水，对设备进行水冷，如不能很快来电，还应打开充放气系统的手动充气阀，对设备进行充气保护，充气压力为-0.02 MPa左右。然后，把控制柜上的所有按钮关至“关”的位置。同时用湿毛巾搭在电极引出接口处，定期更换，以免电极接口过热，造成密封圈损坏。

作为真空镀膜设备的工程师，以上真空镀膜设备运行时如何应急预案是必须要掌握的基础支持，因为真空镀膜设备作业时，突发情况谁也没办法预知什么时候发生，一旦发生，系需要及时处理，避免造成不必要的损失发生。