真空镀膜设备在使用过程中，维修保养必少不了，也是各工程师必须要掌握的问题，因为日常设备维护保养得当，能增加设备的使用寿命，从而降低成本，提高产能。下面汇成真空小编为大家详细介绍一下真空镀膜设备维护保养方法，希望能帮助到大家：

    1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

方法：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

      2、当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。

方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

      3、在重新开机前，要注意检漏。

扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。

      方法：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。

       真空镀膜设备应用领域非常广泛，因此真空镀膜设备型号也是非常的齐全，作为真空镀膜设备的生产厂家，设备维护保养程序一定是要到位的，缺一不可。