DLC涂层真空镀膜机生产工艺流程一般包括DLC镀膜前处理、DLC镀膜和DLC镀膜后处理3大步。
DLC镀膜前处理是获得良好镀层的前提,DLC镀膜一般包括机械加工、酸洗、除油等步骤。DLC镀膜机械加工是指用机械的方法,DLC镀膜除去镀件表面的毛刺、氧化物层和其他机械杂质,使镀
件表面光洁平整,这样可使DLC镀膜与基体结合良好,防止毛刺的发生。DLC镀膜酸洗的目的是为了除去镀件表面氧化层或其他腐蚀物。DLC镀膜除油的目的是清除基体表面上的油脂。
DLC镀膜件经镀前处理,即可进人DLC镀膜工序。DLC镀膜在进行DLC镀膜时还必须注意DLC镀膜液的配方,电流
密度的选择以及温度、等的调节。DLC镀膜需要说明的是,单盐电解液适用于形状简单、外观
要求又不高的镀层,络盐电解液分散能力高,DLC镀膜时电流密度和效率低,DLC镀膜主要适用于表面 形状较复杂的镀层。
DLC涂层可以考虑从以下几个方面排除:DLC涂层发生掉膜的原因很多也很复杂。DLC涂层外表清洁度解决方法:DLC涂层可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。
产品外表洁净度不够。
DLC涂层清洗过程中的问题解决方法:DLC涂层或更换了清洗液。 镀前清洗不到位。
DLC涂层工艺的问题:DLC涂层类金刚石涂层时间和电流上做适当调整。 工艺参数是否有变动。
DLC涂层靶材的问题解决方法:类金刚石涂层检查和更换。 钛靶是否中毒。
DLC涂层真空腔是否漏气解决方法:类金刚石涂层进行一次捡漏。
DLC涂层产品外表氧化解决方法:DLC涂层可以自行判断处置。 氧化的原因很多。
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