http://s2/mw690/96b17cbcgcd42a6ab8e91&690
匹配器射频自动匹配器主要用于将等离子体腔体的阻抗匹配成便于全固态射频电源输出最大功率的阻抗,减小输入信号的反射损耗

AC/DC模块

AC/DC模块将输入的220V交流电转换成功放，控制模块功率检测模块所需的直流电压。

功放模块

功放模块的功能是通过多级射频功率放大将晶振产生的特定频率的小信号放大到所需要的射频功率。

全固态射频电源的功放采用RF MOSFET为元器件

MOSFET

金属-氧化层-半导体-场效晶体管，简称金氧半场效晶体管（Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor, MOSFET）是一种可以广泛使用在模拟电路与数字电路的场效晶体管。
MOSFET依照其“通道”的极性不同，可分为n-type与p-type的MOSFET，通常又称为NMOSFET与PMOSFET。

N沟道增强型MOSFET的剖面图

http://s12/mw690/96b17cbcgcd42e734f38b&690（图a）它用一块P型硅半导体材料作衬底 

（图b）在其面上扩散了两个N型区
（图c）在上面覆盖一层二氧化硅(SiO）绝缘层
（图d）最后在N区上方用腐蚀的方法做成两个孔，用金属化的方法分别在绝缘层上及两个孔内做成三个电极：G(栅极）、S（源极）及D（漏极）。

从图中可以看出栅极G与漏极D及源极S是绝缘的，D与S之间有两个PN结。一般情况下，衬底与源极在内部连接在一起。

N沟道增强型MOSFET的基本结构图
 

为了改善某些参数的特性，http://s6/mw690/96b17cbcgcd42fab9afcf&690

如提高工作电流、提高工作电压、降低导通电阻、

提高开关特性等有不同的结构及工艺,

构成所谓VMOS、DMOS、TMOS等结构。

功率检测模块
功率检测模块的功能是检测出功放的输出功率，性能的好坏直接影响到输出功率的精确度和稳定度。

控制模块
控制模块的主要功能是控制射频电源的输出功率为设定值，处理工作中的异常比如VSWR保护，过温保护等等。