尘埃粒子计数器洁净度检测的最少采样点数目
(2012-01-03 12:36:28)
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杂谈 |
最少采样点数目
面 ㎡ |
洁 净 度 级 别 |
||
100 |
10000 |
100000 |
|
<10 ≥10~<20 ≥20~<40 ≥40~<100 ≥100~<200 ≥200~<400 ≥400~<1000 ≥1000~<2000 2000 |
2~3 4 8 16 40 80 160 400 800 |
2 2 2 4 10 20 40 100 200 |
2 2 2 2 3 6 13 32 63 |
注:表中的面积,对于单向流洁净室,指的是送风面积;对非单向流洁净室,指的是房间面积。 |
5.4.1.2采样点的位置
5.4.2采样点的限定
5.4.3采样量
不同洁净度级别每次最小的采样量见表2。
表2
洁净度级别 |
采样量,L/次 |
|
≥0.5μm |
≥5μm |
|
100 10000 100000 |
5.66 2.83 2.83 |
— 8.5 8.5 |
5.4.4采样注意事项
5.4.4.1在确认洁净室(区)送风量和压差达到要求后,方可进行采样。
5.4.4.2对于单向流,计数器采样管口应正对气流方向,对于非单向流,采样管口宜向上。
5.4.4.3布置采样点时,应避开回风口。
5.4.4.4采样时,测试人员应在采样口的下风侧。
6.结果计算
6.1采样点的平均粒子浓度
A= |
C1+ C2+…+ CN |
………………(2) |
N |
式中:A——某一采样点的平均粒子浓度,粒/m3;
CI——某一采样点的粒子浓度(i=1,2,…,N),粒/ m3;
N——某一采样点上的采样次数,次。
6.2平均值的均值
M= |
A1+ A2+…+ AL |
………………(3) |
L |
式中:M——平均值的均值,即洁净室(区)的平均粒子浓度,粒/ m3;
Ai——某一采样点的平均粒子浓度(i=1,2,…,L),粒/ m3;
L——某一洁净室(区)内的总采样点数,个。
6.3标准误差
式中:SE——平均值均值的标准误差,粒/ m3;
6.4置信上限
式中:UCL——平均值均值的95%置信上限,粒/ m3;
表3
采样点数L |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
>9 |
t |
6.31 |
2.92 |
2.35 |
2.13 |
2.02 |
1.94 |
1.90 |
1.86 |
|
注:当采样点数多于9点时,不需要计算UCL。 |
7.结果评定
7.1每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限,即Ai≤级别界限。
7.2全部采样点的粒子浓度平均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限,即UCL≤级别界限。技术咨询:0512-63335695