电子化学品输送系统(CDS)

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杂谈 |
电子化学品输送系统(CDS)
1, 化学品的种类:
Feeding-Style (充填式供酸系统):
H2SO4、KOH 、H2O2
Ø Drum-Style (桶酸式供酸系统):
HCl、HF、BHF、DBHF、HNO3、AD-10A,B、
TMY、H3PO4、SV-GBL、A-515、Mixed Acid
METHANOL 、THINNER 、ARC-THINNER 、N-396
2,化学品规格:
Chemical |
Assay |
Name in
Chinase |
H2SO4 |
98% | 浓硫酸 |
H2O2 | 35% | 双氧水 |
HNO3 | 70±1% |
硝酸 |
Mix-Acid | HNO3:60±1%
HF:7±0.5% |
混酸 |
HCL | 36±1% |
盐酸 |
H3PO4 | Under 85% |
磷酸 |
TMY | Choline 4±0.1% |
三甲基铵 |
Chemical | Assay |
Name In Chinese |
HF | 49±0.2% |
氟酸 |
BHF | NH4F:30±0.25% |
缓冲氟酸 |
HF:6 ±0.2% |
( Buffer ) |
|
DBHF | NH4F:37.7 ±0.3% |
稀释缓冲氟酸 |
HF:3.2 ±0.1% |
( Dilute
& Buffer ) |
|
N396 |
Alkan 60 ±5% |
氧化胆碱 |
Methanol | Under 99.9% |
甲醇 |
AD-10 | TMAH 2.38
±0.005% |
四甲基铵 |
Thinner | Solvent PGMA
80±1% |
丙二醇甲醚 |
Arc-Thinner | Cyclohexanone
99% |
环己酮 |
3,供应商列表:
Chemical |
CDS |
Merck | Merck-Kanto |
Mitsubishi | Mitsubishi |
Tama | SCI(BOC Edward) |
Ashland | Sumitomo |
Fujiolin | ALE |
4,大流量化学品输送系统:
http://www.sayesfilter.com/uploadfile/1312256737.JPG
5,小流量化学品输送系统:
http://www.sayesfilter.com/uploadfile/1312256795.JPG
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