日本日立超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8000系列（SU8010，SU8020，SU8030，SU8040）概述

日本日立超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8000系列(HITACHI UHR FE-SEM SU8000 Series，SU8010，SU8020，SU8030，SU8040)具有共同的卓越功能，诸如超高分辨率技术(1.3nm/1.0kV)，信号探测系统范围广，可操作性强，便于用户操作等。

日立超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8000系列(HITACHI UHR FE-SEM SU8000 Series，SU8010，SU8020，SU8030，SU8040)提供不同的样品台，样品室以及信号探测系统，满足用户对超高分辨率显微镜的特定需要。

超高分辨率成像功能

分辨率： 1.0nm / 15kV, 1.3nm / 1kV

倍率：80x ～ 2,000,000x

信号探测范围广

多用户型，用户友好型操作界面

各种样品台，样品室以及配置系统，满足用户对未来超高分辨率显微镜的特定需要。

日本日立超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8000系列（SU8010，SU8020，SU8030，SU8040）特点

沿用”SU8200系列”的冷场发射电子枪*2
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的最佳性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空样品仓
运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2

http://www.zwate.com/wp-content/uploads/2020/09/SU8000.jpg