禾维智能UFTRAK环形导轨输送线

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；

在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。

进出检料仓，其包括工作台，环形轨道传输机构，环形轨道传输机构设置在工作台上；

多个视觉检测机构，视觉检测机构设置在工作台上，视觉检测机构用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；

多个晶舟盒，晶舟盒用于放置晶圆，晶舟盒在环形轨道传输机构上移动；

多个晶圆机械手，晶圆机械手用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动；

标签打印机，标签打印机用于打印标签，标识取料晶舟盒中晶圆的信息；

多个物料传送装置，物料传送装置与环形轨道传输机构对接，晶舟盒通过物料传送装置进行传送；

多个出入仓机构，出入仓机构包括换向机构及第一夹取机构，

第一夹取机构设置在工作台上，用于夹取晶舟盒在环形轨道传输机构与换向机构之间移动，换向机构用于带动晶舟盒旋转。

环形轨道传输机构包括环形轨道、皮带、多个皮带轮、多个推板及多个物料平台，

环形轨道设置在工作台上，皮带沿环形轨道设置，

皮带轮设置在工作台上，并带动皮带传动，推板设置在皮带上，

物料平台设置在环形轨道上，推板相对物料平台设置，皮带传动带动推板传动，推板移动带动物料平台移动，物料平台用于放置晶舟盒。

视觉检测机构包括固定板、隔板、第一相机、第二相机及光源，固定板设置在工作台上，固定板上设置有隔板，隔板的上方设置有第一相机，隔板的下方设置有第二相机，

第一相机及第二相机皆朝向隔板设置，第一相机及第二相机上皆设置有光源，隔板上设置有定位槽及U形槽，第一相机及第二相机能够透过U形槽识别晶圆上的镭雕信息，定位槽用于对晶圆进行定位。

晶圆机械手包括控制底座、支撑盘、两第一连接臂、两第二连接臂、两第三连接臂、上夹臂、下夹臂及传感器，支撑盘设置在控制底座上，

两第一连接臂的一端设置在支撑盘上，两第一连接臂的另一端各连接一第二连接臂的一端，两第二连接臂的另一端各连接两第三连接臂的一端，

其中一第三连接臂连接上夹臂，另一第三连接臂连接下夹臂，上夹臂与下夹臂上下相对设置，用于夹取晶圆，传感器设置在第三连接臂上。

换向机构与第一夹取机构对接，换向机构包括底架、气缸固定板、旋转气缸、夹块及垫板，

气缸固定板设置在底架上，

气缸固定板上设置有旋转气缸，夹块设置在旋转气缸上，夹块上设置有垫板。

第一夹取机构包括立柱、气缸安装板、滑动气缸、升降气缸、夹取气缸及夹爪，立柱设置在工作台上，

气缸安装板设置在立柱上，滑动气缸设置在气缸安装板上，

升降气缸设置在滑动气缸上，夹取气缸设置在升降气缸上，

夹爪设置在夹取气缸的两侧，夹爪用于夹取晶舟盒。

物料传送装置包括支撑柱、传送带、第二夹取机构及窗口自动开闭机构，

传送带设置在支撑柱上，

第二夹取机构设置在传送带上，第二夹取机构用于将晶舟盒从传送带上夹取至环形轨道传输机构上，窗口自动开闭机构设置在支撑柱上，用于控制物料传送装置的料口的开和关。

技术方案将晶舟盒放置在物料传送装置上，通过物料传送装置传送至环形传输机构上，然后晶圆机械手抓取晶舟盒上的晶圆至视觉检测机构上，

对晶圆上的镭雕信息进行识别，识别完成后，将晶圆放回晶舟盒的原位置上，当某个晶舟盒上所有的晶圆完成识别后，出入仓机构的第一夹取机构将该晶舟盒夹取至换向机构上进行旋转90°，完成晶舟盒上晶圆的检料,采用机械化代替人工，节约了人工，提高了效率，降低了人工成本。

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