问题：

旋涂仪速度和加速度的控制是怎样的？

回复：

标准速度范围：1-10,000 转/分钟（RPM）[分辨率: <0.5 转/分钟（RPM）可重复性：±0.5 转/分钟，这项指标经过美国国家标准技术研究院（NIST）认证过的，并且无需再校准！]

加速度：空载时，可达80000转/分钟/秒（RPM/sec）；负载时，可达30000转/分钟/秒（RPM/sec），最小加速度值增加精度可达1转/分钟（RPM）；

工作时长：1秒至99分59.9秒，最小时间增加精度：0.1秒；

工作程序段：可以存储20个不同的材料涂敷程序段，每个程序段（每种材料）可以设定最多51个速度变化步骤。