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半导体器件物理与工艺第3版.pdf

(2019-08-24 09:38:24)

作 者 :(美)施敏,李明逵著 

出版发行 : 苏州:苏州大学出版社 , 2014.04 

ISBN号 :978-7-5672-0554-3 

页 数 : 558 

原书定价 : 65.00 

开本 : 26cm 

主题词 : 半导体器件-半导体物理-半导体工艺 

中图法分类号 : TN303;TN305 ( 工业技术->无线电电子学、电信技术->半导体技术->一般性问题 ) 

内容提要:本书介绍了现代半导体器件的物理原理和其先进的制造工艺技术,主要内容包括:能带和热平衡载流子浓度、载流子输运现象等。 

参考文献格式 : (美)施敏,李明逵著.半导体器件物理与工艺 第3版[M].苏州:苏州大学出版社,2014.04.

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