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[转载]干涉法检查产品平整度中凹凸情况的判断方法

(2018-06-02 09:33:10)
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分类: 考研之外

最近经常有学生问如何通过薄膜干涉的条纹判断产品表面的凹凸情况。这里将本人多年前的发现公布于此。

 

在理论分析后,可以给出下列一个简单而有趣的记忆方法。

 

【题目】利用薄膜干涉可检查工件表面的平整度。[转载]干涉法检查产品平整度中凹凸情况的判断方法

 

如图(a)所示,现使透明标准板M和待检工件N间形成一楔形空气薄层,并用单色光照射,可观察到如图(b)所示的干涉条纹,条纹的弯曲处PQ对应于AB处,则N的上表面AB处的凹凸情况如何?


    【答案】N的上表面A处向下凹下;B处向上凸起。

 

【方法】将原图旋转90度,使两板成“V”形(V形很重要!),见下图。如果对应的条纹向上,则此处向上凸起;如果对应的条纹向下,则此处向下凹下。

[转载]干涉法检查产品平整度中凹凸情况的判断方法

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