集成电路中的WPE和LOD(STI)效应
| 分类: 工艺后端 |
在这里把看到的关于 WPE 和 LOD 效应的内容小结一下
WPE, 也即 Well Proximity
Effect, 其原理可以参见下图: 集成电路制造过程中, 在对阱作离子注入时,注入的离子与阱区周围的光刻胶发生溅射而富集在阱的边缘,
因而在水平方向呈现掺杂浓度的非均一性。这会导致阱区中的 MOS 管的阈值或其他电学特性会随着晶体管与阱边缘的距离而发生变化,
这一特性就称为 well proximity effect.
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LOD ( Length Of
Diffusion) Effect, 也称为
所以对于需要进行匹配的晶体管,等间隔排布会使管子受STI效应影响一致,增加了匹配度。源漏复用的接法虽然降低了面积,但是受STI效应影响,匹配变差。
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转自:http://rt2innocence.net/integrated-circuit/wpe-and-lod-effect/

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