在三坐标测量仪的应用中，精度是非常重要的因素，在工作人员的测量中，如何提高三坐标的测量精度，一直都是测量行业以及使用人员不断追求的目标。对三次元测量仪精度的提高，就是降低三坐标使用中的误差，作为误差的一种，平面度误差对三次元的精度有着很大的影响。了解三坐标测量仪的平面度误差的评定方法，以此来采取争取的方法提高三次元的精度，是行之有效的方法。那么，对三次元测量仪的平面度误差的评定，都有哪些方法呢？下面就介绍一下。
　　三次元测量仪平面度评定的方法，主要有以下四种：
　　1. 三坐标测量仪三元点法：是以通过实际被测表面上想聚最远的三点所组成的平面最为评定基准面，以平行于此基准面，且具有最小距离的两包容平面间的距离作为平面度误差值。
　　2.对角线法：是以通过实际被测表面上的一条对角线，且平行于另一条对角线所做的评定基准面，一平行于此基准面且具有最小距离的两包容平面间的距离作为平面度误差值。
　　3. 三次元测量仪最小二乘法：是以实际被测表面的最小二乘平面最为评定基准面，以平行于最小二乘平面，且具有最小距离的两包容平面的距离作为平面度误差值。使三坐标测量仪被测物体表面上各点与该平面的距离的平方和为最小的平面。此法计算较为复杂，一般均计算机处理。
　　4.最小区域法：是以包容实际被测表面的最小包容区域的宽度作为平面度误差值和平面度误差定义的评定方法。
　　对误差的了解越详细，就对我们提高三次元的精度越有利。三坐标测量仪的平面度误差虽然只是误差的一种，但对其相关知识的了解，无论是三坐标测量机的操作人员，还是三次元的研发人员，都是很有必要的。