早期石窟：即今第16～20窟，亦称为昙曜五窟。根据《魏书·释老志》（卷114）记载：“和平初，师贤卒。昙曜代之，更名沙门统。初，昙曜于复法之明年，自中山被命赴京，值帝出，见于路，御马前衔曜衣，时人以为马识善人，帝后奉以师礼。昙曜白帝，於京城西武州塞，凿山石壁，开窟五所，镌建佛像各一，高者七十尺，次六十尺，雕饰奇伟，冠于一世。”文中记述的开窟五所，就是当时著名的高僧昙曜就选择了钟灵毓秀的武州山，开凿了雄伟壮观的昙曜五窟，揭开了云冈石窟开凿的序幕。第16~20窟即帝王象征的昙曜五窟。平面为马蹄形，穹隆顶，外壁满雕千佛。主要造像为三世佛，佛像高大，面相丰圆，高鼻深目，双肩齐挺，显示出一种劲健、浑厚、质朴的造像作风。其雕刻技艺继承并发展了汉代的优秀传统，吸收并融合了古印度犍陀罗、秣菟罗艺术的精华，创造出具有独特的艺术风格。

                                        (一）第十六窟：立佛洞（460--470）

第十六窟，第十六至二十窟，是云冈石窟最早开业凿的五个洞窟， 通称“昙曜五窟。”十六窟为平面呈椭圆形。正中主像释迦像，高13.5米，立于莲花座上，周壁雕有千佛和佛龛。
                                     

                                                (二）第十七窟：弥勒三尊洞（460--470）

         第十七窟，主像是三世佛，正中为交弥勒坐像，高15.6米。东、西两壁各雕龛，东为坐像，西为立像。明窗东侧的北魏太和十三年（公元489年）佛龛，是以后补刻的。

                                         第十八窟：立三佛洞（460---470）

第十八窟，正中立像高达15米多，右臂袒露，身披千佛袈裟，刻画细腻，生动感人。

                                         第十九窟：宝生佛洞（460---470）

第十九窟，主像是三世像，窟中的释迦坐像，高16.8米，是云冈石窟中的第二大像。窟外东西凿出两个耳洞，各雕一身8米的坐像。