四乙基氢氧化铵的含量测定与应用领域！

一、知识简介

四乙基氢氧化铵，是一种有机化合物，化学式为C8H21NO，主要用作极谱分析试剂。

二、应用领域

目前四乙基氢氧化铵已经进入尖端科技领域，如在电路板的印刷和显微镜片 的制造业中，可作为集成电路板的清洗剂和半导体微加工技术中的Si－SiO2界面的各向异性腐蚀剂。随着科学技术的发展，对四乙基氢氧化铵的需要量日趋增加，对其质量要求也更高。国内一般是以四乙基氯化铵为原料，采用氧化银法、离子交换树脂法、离子膜电解法等方法制备，纯度较国外工艺差，很难满足半导体等高端产业客户的需求。

三、含量测定

关于四乙基氢氧化铵的含量检测分析，国内外文献及标准中均少有报道。以国外某知名高纯试剂生产企业A生产的TEAH为分析对象，针对其生产工艺中使 用了四甲基氢氧化铵（TMAH）与三甲基金刚烷基氢 氧化铵（TMdAH），成功开发了检测TEAH中TMAH与TMdAH这两个典型阳离子杂质残留量的离子色谱法。离子色谱作为液相色谱的一个分支，对于阴阳离子 检测有很高的灵敏度，在各个行业均有广泛的应用，在化工高纯试剂分析方面也有诸多文献报道或标准收载。新建方法灵敏度高，回收率好，适用于TEAH中 TMAH与TMdAH的检测。

选用Dionex Ion Pac CS17阳离子交换柱，柱效高， 分离能力强，TMAH、TMd AH与6种常规阳离子之间分 离良好；TMd AH保留强，在8~25 min时间段加入30% 乙腈，TMd AH于22 min即可正常洗脱，峰型良好；抑制器采用外加水方式进行再生，基线平稳，噪声较小。新建的离子色谱-抑制电导法测定TEAH中两 个典型的阳离子TMAH、TMdAH的含量，条件简单，操作便捷，灵敏度与准确度高；本方法为高纯试剂TEAH的研发与生产监测提供了一种简便、稳定、可靠的新途径，具有较高的实用价值和应用前景。

四、泄漏应急处理

疏散泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿化学防护服。不要直接接触泄漏物，用砂土吸收，铲入提桶，倒至空旷地方深埋。用水刷洗泄漏污染区，经稀释的污水放入废水系统。如大量泄漏，利用围堤收容，然后收集、转移、回收或无害处理后废弃。

五、防护措施

工程控制：密闭操作，局部排风。

呼吸系统防护：可能接触其蒸气时，应该佩戴防毒口罩。紧急事态抢救或逃生时，佩戴自给式呼吸器。

眼睛防护：戴化学安全防护眼镜。

防护服：穿防腐工作服。

手防护：戴橡胶手套。

其他：工作现场禁止吸烟、进食和饮水。工作后，淋浴更衣。单独存放被毒物污染的衣服，洗后再用。注意个人清洁卫生。严禁皮肤直接接触。

六、急救措施

皮肤接触：用肥皂水及清水彻底冲洗。就医。若有灼伤，按碱灼伤处理。

眼睛接触：拉开眼睑，用流动清水冲洗15Min。就医。

吸入：脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难时给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。就医。

食入：误服者，口服牛奶、豆浆或蛋清，就医。