一种超高压氟油检漏装置应用与实践

一 系统概述

本文介绍一种超高压氟油检漏装置，于传统的氟油检漏装置相比，此套检漏装置解决高压力情况下，向产品中压氟油，并实现氟油重复利用，由于压力等级比较高，此等氟油加压装置也属于首次尝试，并成功解决高压下，各个组件可靠工作问题。

设备用途：用于陶瓷电容式压力敏感元件，如下图所示，由氧化铝基板/封接玻璃/氧化铝感应膜片三组件构成，检测封接玻璃层再10MPa压力下是否存在渗漏。

二  系统基本技术参数

1. 加压罐本底真空度优于50Pa；

2. 真空测量：   真空计；

3. 充气压力：  ≤10.0MPa；

4. 氮气罐尺寸：根据样品尺寸定制，气罐及管道接头满足最大压力10MPa使用要求，产品装载量≥200PCS/批次；

5. 过滤油罐过滤颗粒大小：≤5um；

三  工作原理

氟油加压系统原理图

空条件下注入低沸点氟油 F113（轻氟油）、淹没工件，并用氮气对其加压一定时间、压力和时间按有关标准执行（压力约为100个大气压，时间在1～10小时）。加压完毕，对压力容器缓慢卸压（时间要大于20秒），取出被检件，在空气中干燥2分钟，然后浸入已加热到125℃的FC-43氟油（重氟油）中的深度应大于50mm，观察时间要多于30秒。若发现被检件有连续的小气泡或个别大气泡冒出，则可判定为不合格。

四  设备机构组成

本系统包括自动控制系统一套、氟油加压装置一套，真空抽空装置一套。

自动控制系统：包括触摸屏、抽空装置、氟油加压装置电路部分以及自动检测过程提供参考信号的电阻规、真空计、压力表、真空计，它包括整个系统的工作控制、抽空、充氦、加压和结果显示部分；加压或保压过程，系统检测压力大小，压力值偏低，系统进行报警并自动增压，压力偏高，系统报警并主动泄压。

为防止高压造成安全隐患，自动控制采用远程控制，加压罐放在远程防爆间内，通过远程操控触摸屏对设备进行控制。

氟油加压装置：包括箱体抽空泵、压力罐、高压阀门、管道接头，负责对工件抽空、加压、增压泵、压轻氟油等工艺。

真空抽空装置：主要是真空泵，是提供系统检漏所需要的真空环境。

五  系统工艺流程

出于对知识产权保护，此处略去系统工艺过程，如感兴趣欢迎电话交流：13466747953

六  工作环境要求

1、长×宽×高（设备占地面积约）：2000×1500×2000 mm ；

2、电源：380 V±38 V，50 Hz±0.5 Hz，约10 KW；

3、压缩气源：0.6～ 0.8Mpa氮气或干燥清洁压缩空气；

4、待检工件要求清洁、干燥。

5、环境温度：   5 ℃ ～ 40 ℃；

6、工作介质：  轻氟油；

7、配瓶装氮气；

七  结论

通过反复实践应用，为用户成功解决在10MPA下，压氟油问题，并实现氟油重复使用，并且可以远程监控。也解决了传统只能做低压强下压氟油的问题。