质谱仪（Mass Spectrometer）通过测量离子的质荷比（mass-to-charge ratio，m/z）来定量分析化合物的浓度。具体步骤如下：

1. 样品引入：样品通过进样口进入质谱仪，通常经过离子化源（如电子电离、化学电离、电喷雾电离等）将样品分子转化为带电离子。

2. 离子化：在离子化源中，样品分子被能量源（如电子束、化学试剂）激发，使样品分子转化为带电的离子。这个过程决定了离子化的效率，影响最终的定量准确性。

3. 离子分离：带电离子进入质量分析器（如四极杆、飞行时间分析器、磁质谱仪等），根据质荷比（m/z）进行分离。不同质荷比的离子在质量分析器中会被分离成不同的路径或飞行时间。

4. 离子检测：经过分离的离子到达检测器（如光电倍增管、电子倍增器、法拉第杯等），产生电信号。电信号的强度与到达检测器的离子数量成正比。检测器的信号被转换为电压或电流，并被记录下来。

5. 数据处理：检测器的信号经过放大和数字化处理，形成质谱图。质谱图显示出质荷比与相对丰度的关系。

6. 定量分析：

  内标法：在样品中加入已知浓度的内标物（即一种与分析物类似但不同的化合物）。通过比较样品中分析物与内标物的信号强度，可以校正分析物的浓度，消除离子化效率、样品损失等引起的误差。

  标准曲线法：使用一系列已知浓度的标准样品，测量其质谱信号，绘制标准曲线。将待测样品的质谱信号与标准曲线对比，确定样品中目标化合物的浓度。

  外标法：直接使用已知浓度的标准样品，与待测样品同时测定。通过比较待测样品与标准样品的信号强度，推算待测样品中目标化合物的浓度。

通过上述步骤，质谱仪可以对样品中的化合物进行定量分析。质谱定量的准确性和精确性依赖于样品制备、离子化效率、仪器校准、内标物选择等多个因素的控制和优化。