加载中…清华大学机械工程系朱煜教授公开透露双工件台发展情况
(2023-08-24 14:08:26)
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科技 |
以“共青团清华大学机械工程系委员会”为“主办单位”、“清华大学校友总会先进制造专业委员会”与“共青团清华大学委员会”为“协办单位”于2023年8月13日14:30-16:00举行“清华制造中国行·机械力量（第十一期）·制造前沿大讲堂·集成电路专项”演讲活动。
该演讲活动邀请了清华大学机械工程系长聘教授、博士生导师、清华大学机械电子工程研究所所长、科技部重点领域“超精密机械与测控创新团队”负责人朱煜以及清华大学助理教授、清华大学特别研究员、博士生导师柴智敏为演讲嘉宾。演讲活动结束后，同学们就自己感举和疑惑的地方提出了不少问题，而作为演讲嘉宾的朱煜教授也作了明确回答。
有同学问：朱煜老师您的课题组研发的工件台和ASML公司还有没有差距，或者说还存在哪些方面的差距？
朱煜明确回答：目前我们课题组研制的工件台在大的代际上与ASML公司最先进工件台（2000系列以上产品）处于同一水平。但在小的代际上与ASML的2000系列以上产品还存在一代的差距，再迭代一次后就可以追上国际先进水平。
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