扩散泵是真空镀膜机的主要部件，为机器能运作在最佳状态，平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养非常重要。

　　接下来由东莞爱加真空科技有限公司的高级工程师与大家分享真空镀膜机扩散泵维修与保养。

　　1,扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

　　2,扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。

　　3,被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

　　4,扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。

　　5,扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检查。

　　如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丙酮进行擦洗，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。

　　处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。

　　6,待水分挥发干以后装好泵芯，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。

　　7,在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维护泵，关好大门，数分钟后，观察真空度是否6*10的0帕，否则要进行检漏，检查连接处是否漏装密封胶圈，或者压坏密封圈。

　　排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。

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