镀膜材料加热到一定温度时就会发生气化现象，也就是由固体状态或液体状态进入到气体状态，在真空条件下物质的蒸发比在常压下容易得多，所需的蒸发温度也大幅度下降，因此熔化蒸发时间可以缩短很多，蒸发效率明显地提高。

　　例如，在一个大气压下，铝必须加热到2400℃才能蒸发，但是如果在10-3Pa的真空条件下只要加热到847℃就可以大量蒸发。

　　常用材料的熔化与蒸发温度(蒸气压lPa)

材料名称	熔化温度/℃	蒸发温度/℃
铝	660	1272
铁	1535	1477
金	1063	1397
铟	157	957
镉	321	271
硅	1410	1343
钛	1667	1737
钨	3373	3227
铜	1084	1084
锡	232	1189
银	961	1027
铬	1900	1397
锌	420	408
镍	1452	1527
钯	1550	1462
Al2O3	2050	1781
SiO2	1710	1760
B2O3	450	1187

　　从表中数据可以看出，某些材料如铁、镉、硅、钨、铬、锌等可从固态直接升华到气态，而大多数材料则是先熔化，然后从液相中蒸发。

　　一般来说，金属及其热稳定化合物在真空中只要加热到其饱和蒸气压达到IPa以上时，均能迅速蒸发。

　　而且除了锑以分子形式蒸发外，其他金属均以单原子形式蒸发进入气相。

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