加载中…
个人资料
  • 博客等级:
  • 博客积分:
  • 博客访问:
  • 关注人气:
  • 获赠金笔:0支
  • 赠出金笔:0支
  • 荣誉徽章:
正文 字体大小:

真空系统最大允许漏气率计算方式

(2014-07-16 09:51:22)
标签:

佛学

进口真空镀膜设备维修

真空镀膜设备维修

如果真空系统是一台泵抽20个容器,真空是动态真空。系统抽速2500L/S,系统工作压力需要达到100pa。每个容器检漏时是独立检漏的。那么最大允许漏气率是如何计算的?

  是用系统的最大允许漏率/20,因为漏率——Q漏=V(P2-P1)/t,其中Q漏: 系统漏率(Pa•l/s)V: 系统容积

  (l)P1: 真空泵停止时系统中压强(Pa)

  P2: 真空室经过时间t后达到的压强(Pa)t: 压强从P1升到P2经过的时间(s)如果这20个腔室的状态一致,即漏气速率相同,那么,不管是联在一起还是单独隔开,它们在抽气停止相同时间后达到的压强是一致的。

  因此,漏率和腔室容量成正比,而不需要考虑压强和时间的影响。

  当测出整个真空系统的漏率后,单个系统的漏率便可以由容积比分别算出来。

  用公式表达如下:Q漏=V1(P2-P1)/t+V2(P2-P1)/t+V3(P2-P1)/t+...+V20(P2-P1)/t=Q1漏 + Q2漏 + Q3漏 + ...+Q20漏

  以上资料由爱加真空收集整理,仅供参考。

本文载自http://www.ajiavac.com/shownews-260.html

0

阅读 收藏 喜欢 打印举报/Report
  

新浪BLOG意见反馈留言板 欢迎批评指正

新浪简介 | About Sina | 广告服务 | 联系我们 | 招聘信息 | 网站律师 | SINA English | 产品答疑

新浪公司 版权所有