臭氧具有广谱的抗病毒作用，可以被臭氧明显灭活的微生物包括：好氧和厌氧菌、类杆菌、梭菌属、弯曲杆菌、棒状杆菌、埃希氏杆菌属、克氏杆菌属、分支细菌、退伍军人病菌属、假单胞菌、沙门氏菌、志贺氏菌属、葡萄状球菌、链球菌、耶尔森氏鼠疫杆菌等。易受臭氧影响的病毒包括腺病毒属、疱疹病毒属、小核糖核酸病属、正粘液液毒属、呼肠孤病毒和逆转录病属等。对臭氧比较敏感的真菌包括曲霉属、放射菌属、假丝酵母、隐球菌、表皮癣菌属、组织浆菌属、小孢霉属以及毛癣菌等。

   　有些病毒比另外一些病毒更容易受臭氧的影响。研究发现，脂质囊膜病毒对臭氧的作用更为敏感，包括乙型、丙型肝炎病毒，疱疹1、2号病毒，巨细胞病毒，艾滋病1、2号病毒，甲、乙型流感病毒，西尼罗病毒，外衣病毒属，东、西部马脑炎病毒，狂犬病毒，埃搏拉病毒和马尔堡病毒等。由于囊膜十分易碎，因此很容易被臭氧及其副产物分解。