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Neopact直接电镀制程实例(2008-08-09 10:26:30)
 

Neopact直接电镀制程实例
Neopact是Atotech公司开发的胶体钯制作导电膜工艺的商品名称。
Neopact的工艺流程在实践中多次修改和完善,现在的流程已经同传统PTH的一致。

1)Neopact的流程和主要操作参数(表4-2)

 

2)Neopact导电膜形成机理
形成Neopact导电膜的溶液是一种有机胶体钯。不含SnCl2和NaCl的弱酸性胶体溶液。这种胶体溶液是在生产现场配制现用的。应用Atotech提供的基础溶液(pd2+的有机络合物,商品名为Basic Solution Neopact)与还原剂(商品名称Reduction Solution Neopact)相混合立即形成胶体。待反应逸出的氢气排出之后就可待用。此时的胶体溶液中金属Pd的含量应在220-270mg/L范围内,PH应在1.6-1.9范围。图4-3展示了Neopact导体溶液(或胶体钯)产生的过程。

 

 

a.导电膜形成的过程可以用图4-4来说明:
钻通孔的孔壁表面原本是负电性的,在清洁/调整槽液中吸附阳离子表面活性剂之后,孔壁表面便呈正电荷。同时,表面基体Cu也吸附了小量表面活性剂。
b.经过水洗之后,通孔板进入微蚀槽处理,它通过对Cu的蚀刻(粗化)除去氧化物和吸附的活性剂,而孔壁绝缘材料(树脂和玻璃纤维)上的阳离子表面活性剂(即正电荷层)仍然保留。
c.在导体溶液(胶体钯)中,钯胶体粒子是带负电荷的(胶体稳定的条件)。由于进入导体吸附槽的通孔板、孔壁表面已带正电荷,于是在这里发生了胶体粒子被孔壁吸附。这吸附层就是导电膜的基础。

需要指出的是,这一过程与传统PTH中的很相似,但是它们的结果是有很大差别的,此时产生的是眼睛可以看得见的Pd金属为主体的黑色薄膜,而不仅仅是活化(或催化)中心。这种结果要归功于调整剂,是它提供了足够的正电荷。当然胶体自身的活性也很重要。

还要指出一点,这时板面基体铜上几乎没有或只有很少的钯胶体粒子。因为它几乎没有能力吸附Pd胶粒。

导体预浸液(1.5ml/1 H3PO4)的作用主要是清洁Cu表面的氧化物,防止带进污物,保护导体溶液。由于在前面的水洗中可能在Cu面产生氧化物,若直接进入导体溶液会使Cu2+增加较快而影响导体溶液的寿命(要求Cu2+<80ppm),因此,必须经预浸处理。

d.后浸。后浸溶液的作用是将吸附在孔壁表面的Pd胶体中的有机保护胶体除去,曝露出并重新排列金属Pd粒子以增强导电能力。

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钻孔的PCB经过上述4个工位的处理,在孔壁表面产生了一层薄的金属Pd导电膜,这层膜化学稳定性好,烘干后可以长时间保存而导电性能不变,也可以在稀酸溶液中浸泡长时间不脱落。因此,它可以适应传统的减成法的所有加工。不仅如此,它还可以直接做图形,进行所谓的完全的图形电镀(在图形上一次镀Cu至25-35μm厚)

3)导体溶液的监控
在槽液中使用一套简单而可靠的监控器(Controllomat)监控溶液的氧化/还原电位(ORP)和PH值。ORP控制在-230~-190mv范围内,PH值控制在1.6-1.9.Controllomat测得的值高于各自的设定值时,液泵分别自动补加还原溶液和稀HCl溶液,以保持ORP和PH的正常值。溶液中Pd的含量主要是带出损失,可根据产量补充。由控制器指示并起动加液泵补充一定量的基础溶液(Pd2+的络合物)和相应量的还原液到一个容器中混合后自动加入导体槽中。这种补充方式结合化学分析加以校正更为精确。

生产时槽液温度保持50℃(40-35℃)。停产时可关掉加热器。但ORP的监控连续不停,溶液的循环也不停止。

4)导电膜质量的监控
Atotech向用户推荐了一种测试用双面板,尺寸约15x6cm2上面钻有几排不同直径的通孔(φ1.0,0.8,0.5,0.3mm等),并蚀刻掉部分Cu露出各种宽度和各种形状的绝缘区,以便观察电镀情况。

用这种试验板在Neopact生产线上试镀。然后取下到一个类似Hollin槽结构的小型酸Cu槽液中电镀Cu(溶液取自生产线)。在2A/dm2下电镀2分钟,然后切开孔稍加研磨,对各种孔径的孔壁进行透射光观察,显微镜视场中可见到或见不到小光点。一般正常状态下,上述试验2分钟是看不见光点(针孔)的。2分钟电镀看不见针孔,表明孔壁完全被Cu覆盖,这也证明Pd膜对孔壁的覆盖是完全的,整个生产线处于正常状态,可以生产。相反的情况发生时,应当逐一检查各功能槽的状况并予以纠正。

另外,试验板上的绝缘区(长条和圆圈)在电镀时,把最大的圆圈完全覆盖的时间越短,Pd膜的电阻越小。Neopact垂直线调整正常时,30秒钟就能将直径为1.0mm的绝缘圈完全覆盖。

5)Neopact工艺与设备的配合
Neopact适用于传统的垂直式的PTH设备,也适用于现今的水平式设备。Atotech开发的水平式设备称做Uniplate Neopact。Uniplate Neopact设备的全制程是从超声去钻污开始,加上Flood Bar技术,对于高精度,高板厚/孔径比的多层板特别有利。这种全自动的设备解决了现今高难度印制电路板的制作难题。

6)Neopact直接电镀的优点
1 适用于所有的基材。镀层质量稳定可靠,孔内无铜率可以为零;镀层性能好。
2 废水处理简单,改善了环境质量。
3 与传统的PTH性好,有利于旧工艺转化。
4 工艺控制范围宽,操作简单、溶液稳定,维护简便
5 导体形成槽液(相当于化学Cu作用)不受负载影响。
6 不用拖缸来活化槽液,减少药品损耗。
7 流程短,提高了生产效率。
8 总的生产成本降低。

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