众所周知，热处理质量取决于热处理工艺及设备，先进的热处理设备不仅能正确完成热处理工艺而且兼有节能、防止污染功能，从而实现节能、精密和绿色热处理。   

1 低压脉冲真空炉的工作原理、设备结构和工艺特点   

用低压脉冲原理制造的真空炉，可克服老三炉的缺点，同时拥有真空炉和可控气氛炉的优点，既可实现少无氧化加热，又能进行可控气氛加热，而没有其售价高、维修难的缺点。此项工艺还拥有自动控制炉压的功能，能达到快速排气和提高渗碳、渗氮速度之目的。此炉的工作原理、设备结构及热处理工艺主要的技术特点简述如下：              
    1.1工作原理   

工件在设定的低真空上下限范围自行脉循环加热，炉气在设定的工艺时间周期内自行反复吐故纳新，可解决工件在渗氮、渗碳过程炉气老化及密装所引起的渗层不均匀等技术难题。这种先在低真空范围脉冲加热，接着进行正压加热的工艺，我们主称之为低压脉冲真空热处理。此工艺技术用在箱式无氧化加热炉上也是十分有效的。炉膛在低真空(负压)至正压大范围脉冲调压加热以中性气体迅速置换炉膛中的空气、水分等含氧介质，而后以工艺规定的渗剂使工件在设定的气氛中加热，加热后若在炉内冷却即可实现少无氧化热处理。应特别指出，脉冲(渗氮、氮碳共渗)工艺有三种’炉压变化方式：   

①负压脉冲：炉压在≤1个大气压状态下周期性变化；   

②正压脉冲：炉压在≥1个大气压范围周期性变化；   

③正负压脉冲：上压为正值，下压为负值的脉冲，而脉冲真空可以认为是真空与非真空的交替。低压脉冲真空热处理利用的是正负压脉冲原理。   

低压脉冲真空热处理的炉压变化是在指定的时间内从设定的负压升至设定的正压，并在此压力下保持不同的时间，而后迅速降压至设定的负压，然后再开始第二个周期性的调压加热，如此循环处理，直到完成工艺所需的时间为止。

 低压脉冲真空热处理新技术简介:
      1.2设备结构特点   

低压脉冲真空炉最高工作温度可达(1150℃，有井式和箱式两种炉型。           
      1.3主要的技术特点           
      1.3.1提高生产效率，降低生产成本   

工件人炉后通过抽气将炉内空气排出，达到快速排气，减少换气时间，提高渗速，从而缩短生产周期，提高生产效率，降低了生产成本。   

1.3.2可获得高质量渗层                
      脉冲抽气对工件表面有脱气和净化作用，在低真空状态下增强了工件表面活性，提高了工件表面对所渗元素的吸附能力，扩散加快，从而获得致密均匀的渗层，同时可以防止内氧化，避免产生黑色组织提高渗层质量。                  
      由于脉冲过程是以抽气一充气或充气一放气交替更换炉气，新老气交换可以到达任何部位和角落，解决了对于带有小孔、盲孔、狭缝的零件渗不到或渗层不均等技术难题。                
      由于正负压脉冲相比纯负压脉冲，脉冲幅度大，炉，不像真空炉那样整个炉壳通水冷却，而是只在炉门密封处通水冷却，使水耗、电耗明显减少；安装自动换气装置，实现自动进排气。炉门同炉体接触处用橡胶密封，炉衬采用陶瓷纤维装配式结构，少用耐火砖。并在其外表涂多晶态矿化黑陶瓷涂料；增设内炉门，炉底中部安装进气盘，让中性、惰性等气体自行定量、定时地进入炉膛，也可从炉盖滴人保护剂，使工件加热后达到少无氧化。后墙和炉顶配热电偶，分别用于控制和记录炉膛温度，采用智能化程序控温。中温炉的电热元件为螺旋形，高温炉用弓形电阻丝或电阻带，对于炉膛表面积小者采用低压供电。渗氮或氮碳共渗的化合物层可得到有效的控制，能满足不同材料的技术要求。于正负压脉冲比负压脉冲调压幅度大，因此更能提高渗氮或氮碳共渗速度，也更能提高小孔、盲孔、紧压面的渗层面质量均匀性，达到普通渗氮所无法实现的热处理效果。   

1.3.3提高设备利用率               
      在低压脉冲真空状态下，工件可以密装，提高了设备利用率。           
    2 展望   

低压脉冲真空热处理是真空热处理的又一创新技术，它有助于提高热处理质量、提高生产效率、降低生产成本、促进我国热处理行业的技术发展。随着低压脉冲真空热处理技术及其应用的不断完善和发展，高质量、低成本，热处理的节能、精密、高效、环保、与可持续发展，将是本技术发展的重要方向。