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电子行业制备超纯水的3种工艺

(2020-07-23 15:39:28)
分类: 日志笔记

  电子行业制备超纯水设备的工艺大致分成以下几种:

  1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:源水(箱)→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→阳床→阴床→混床(单级或双级) →纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

  2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,是比较经济和流行的一种方式,其基本工艺流程为:

  源水(箱)→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→反渗透设备→中间水箱→混床(单级或双级)→用水点

  源水箱→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→高压泵→反渗透装置 (根据源水水质可设单级或双级反渗透设备)→中间水箱→混合离子交换器(单级或双级)→终端过滤器→产品水箱→用水点

  B源水(箱)→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→高压泵→反渗透装置(根据源水水质可设单级或双级)→中间水箱→混合离子交换器(单级或双级)→产品水箱→纯水泵→核级树脂→终端过滤器→用水点

  3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方式,这是一种制取超纯水的新工艺,其基本工艺流程为:

  源水(箱)→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→原水箱→反渗透设备(根据源水水质可设单级或双级)中间水箱→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置过滤器→用水点

  A、源水(箱)→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→高压泵→反渗透装置(根据源水水质可设单级或双级)→中间水箱→EDI→产品水箱→用水点源水(箱)→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→高压泵→反渗透装置(根据源水水质可设单级或双级)→中间水箱→EDI→产品水箱→纯水泵→核级树脂→终端过滤器→用水点

  电子行业超纯水设备应用范围:

  半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;

  超纯材料和超纯化学试剂;

  实验室和中试车间;

  汽车、家电表面抛光处理;

  光电产品;

  其他高科技精微产品;


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