清炉、装炉:清洗整个炉室内壁及加热线圈、反射器、晶体夹持器、上轴、下轴,调整加热线圈和反射器的水平及与上轴、下轴的对中;将多晶料夹具固定到多晶料尾部的刻槽处,然后将其安装到上轴末端,进行多晶料的对中;将籽晶装入籽晶夹头上,然后将其安装到下轴顶端;关闭各个炉门,拧紧各紧固螺栓;
(2)抽空、充气,预热:打开真空泵及抽气管道阀门,对炉室进行抽真空,真空度达到所要求值时,关闭抽气管道阀门及真空泵,向炉膛内快速充入氩气;当充气压力达到相对压力
1bar-6bar时,停止快速充气,改用慢速充气,同时打开排气阀门进行流氩;充气完毕后,对多晶硅棒料进行预热,预热使用石墨预热环,使用电流档,预热设定点25-40%,预热时间为10-20分钟;
(3)化料、引晶:预热结束后,进行化料,化料时转入电压档,发生器设定点在40-60%;多晶料熔化后,将籽晶与熔硅进行熔接,熔接后对熔区进行整形,引晶;
(4)生长细颈:引晶结束后,进行细颈的生长,细颈的直径在2-6mm,长度在30-60m
8.1.
观察炉内硅材料是否已完全熔化,完全熔化后观察是否有挂边。
8.1.1.如有挂边则按下位于屏幕下方的【PROCESS
RESET】在弹出的对话框中选择【ACCEPT】,然后将操作面板旁边的状态旋钮打到MANUAL档。按下屏幕上的【CRUCIBLE】按钮打开坩埚控制菜单,在ROTATION栏中点击【OFF】关闭坩埚旋转。将手动操作手柄的【SEED】打向DOWN位置适当的降下热屏直到直视看不到挂边的位置,但不要放下热屏。待数分钟后将操作手柄的【SEED】打向UP位置,确认挂边是否掉落,如未完全掉落则重复前面的操作。如已经处理完挂边则可手动进入STABILIZE。
8.1.2如无挂边则按下【STEP
SKIP】直接进入STABILIZE。
8.2.化料时间已到
操作说明
一.目的
将硅多晶及硅单晶转变成客户需要的硅单晶。
二.适用范围
FT-CZ1806,FT-CZ2008单晶炉
三.使用设备及工具
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自动控制的科普综述文章少之又少,这一篇是难得好文章。甚至高于科普了。自动化专业的学生,能够把自己学的道理理解到这种程度的,又能占到多少比例呢?
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